[특허]Load port

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B65G-049/07
출원번호	US-0282703 (1999-03-31)
우선권정보	JP0091972 (1998-04-03)
발명자 / 주소	Murata Masanao,JPX Oyobe Hiroyuki,JPX Tanaka Tsuyoshi,JPX Nanpei Zenta,JPX Takaoka Toshiyuki,JPX Saeki Hiroaki,JPX Matsushima Keiichi,JPX
출원인 / 주소	Tokyo Electron Limited, JPX
대리인 / 주소	Darby & Darby
인용정보	피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 6

초록 ▼

A load port for semiconductor equipment includes a transporting apparatus 18 and/or a moving apparatus 30 for respectively transporting a carrier base 14 and moving a cover 15, using a smaller force until the carrier base 14 and/or the cover 15 reaches a predetermined position that is at a predetermined distance from an opening 16 of the equipment. This position is at a distance where it is no longer possible to catch a hand or other object between the carrier base 14 or cover 15 and the semiconductor equipment. Then, the carrier base 14 and/or the cover 15 is transported or moved towards the opening 16 by the transporting apparatus 18 and/or moving apparatus 30 respectively transporting the carrier base 14 and/or moving the cover 15 towards the opening 16 to completely close the opening 16 using a larger force.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A load port for semiconductor manufacturing equipment comprising:a carrier for accommodating a wafer;a carrier base for transporting said carrier, while accommodating a wafer, towards an opening of said semiconductor manufacturing equipment to close said opening;a transporting means for transporting said carrier base; andcontrol means to control said transporting means to transport said carrier base toward said opening using a relatively small force until said carrier reaches a predetermined position at a predetermined distance from said opening and then transport said carrier base towards said opening using a force greater than said small force used to move said carrier base to said predetermined position.

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Okabe,Tsutomu; Igarashi,Hiroshi; Miyajima,Toshihiko, Wafer processing apparatus including clean box stopping mechanism.
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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
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A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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