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Load port 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65G-049/07
출원번호 US-0282703 (1999-03-31)
우선권정보 JP0091972 (1998-04-03)
발명자 / 주소
  • Murata Masanao,JPX
  • Oyobe Hiroyuki,JPX
  • Tanaka Tsuyoshi,JPX
  • Nanpei Zenta,JPX
  • Takaoka Toshiyuki,JPX
  • Saeki Hiroaki,JPX
  • Matsushima Keiichi,JPX
출원인 / 주소
  • Tokyo Electron Limited, JPX
대리인 / 주소
    Darby & Darby
인용정보 피인용 횟수 : 19  인용 특허 : 6

초록

A load port for semiconductor equipment includes a transporting apparatus 18 and/or a moving apparatus 30 for respectively transporting a carrier base 14 and moving a cover 15, using a smaller force until the carrier base 14 and/or the cover 15 reaches a predetermined position that is at a predeterm

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.] A load port for semiconductor manufacturing equipment comprising:a carrier for accommodating a wafer;a carrier base for transporting said carrier, while accommodating a wafer, towards an opening of said semiconductor manufacturing equipment to close said opening;a transpo

이 특허에 인용된 특허 (6)

  1. Bird Harry L. (Red Hook NY) Sutherland David T. (Woodstock NY), Adjustable door arrangement for a vacuum chamber.
  2. Takahashi Tetsuo (Akita JPX) Miyauchi Eisaku (Akita JPX) Miyajima Toshihiko (Saku JPX) Watanabe Hideaki (Akita JPX), Apparatus for clean transfer of objects.
  3. Huber Jakob (Les Aveneyres 8 1896 St. Lgier CHX), Drive mechanism for fully-automatic opening and closing of a sliding door.
  4. Shrader Robert L. (Castro Valley CA), Substrate transfer apparatus for a vacuum coating system.
  5. Iwai Hiroyuki,JPX ; Tanifuji Tamotsu,JPX ; Asano Takanobu,JPX ; Okura Ryoichi,JPX, Treatment apparatus.
  6. Lunenschloss John T. (Madison WI) Ebbott Henry M. (Madison WI) Beckeman Raymond A. (McFarland WI) Gregerson Glen M. (Janesville WI), Variable speed door operator.

이 특허를 인용한 특허 (19)

  1. Flitsch, Frederick A., Apparatus to support a cleanspace fabricator.
  2. Bonora, Anthony C.; Fosnight, William J.; Shenk, Joshua W., Cassette buffering within a minienvironment.
  3. Okabe, Tsutomu; Miyajima, Toshihiko; Igarashi, Hiroshi, Closed container and lid opening/closing system therefor.
  4. Tetsunori Otaguro JP, Foup opener.
  5. Sasaki, Mutsuo; Miyajima, Toshihiko, Lid closing method for closed container and lid opening/closing system for closed container.
  6. Okabe, Tsutomu; Miyajima, Toshihiko; Igarashi, Hiroshi, Lid opening/closing system for closed container.
  7. Christopher Hofmeister ; Glenn L Sindledecker, Material transport system.
  8. Flitsch, Frederick A., Method and apparatus for an automated tool handling system for a multilevel cleanspace fabricator.
  9. Flitsch, Frederick, Method and apparatus to support a cleanspace fabricator.
  10. Flitsch, Frederick A., Method and apparatus to support process tool modules in a cleanspace fabricator.
  11. Lee,Jong Haw, Method and device for controlling position of cassette in semiconductor manufacturing equipment.
  12. Seita, Hisaharu, Method for transporting boards, load port apparatus, and board transport system.
  13. Matsumoto, Ken, Method for transporting substrates and a semiconductor manufacturing apparatus using the method.
  14. Flitsch, Frederick A., Method of forming a cleanspace fabricator.
  15. Flitsch, Frederick A., Methods and apparatus for vertically orienting substrate processing tools in a clean space.
  16. De Ridder, Christianus Gerardus Maria; den Hartog, Edwin, Processing system with increased cassette storage capacity.
  17. Cho,Sungmin; Reimer,Peter; Seidl,Vincent, Semiconductor substrate damage protection system.
  18. Nakamura, Tsutomu; Tanimura, Hidenobu; Mizobe, Yuya, Vacuum processing apparatus.
  19. Okabe,Tsutomu; Igarashi,Hiroshi; Miyajima,Toshihiko, Wafer processing apparatus including clean box stopping mechanism.
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