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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0282703 (1999-03-31) |
우선권정보 | JP0091972 (1998-04-03) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 6 |
A load port for semiconductor equipment includes a transporting apparatus 18 and/or a moving apparatus 30 for respectively transporting a carrier base 14 and moving a cover 15, using a smaller force until the carrier base 14 and/or the cover 15 reaches a predetermined position that is at a predeterm
[ What is claimed is:] [1.] A load port for semiconductor manufacturing equipment comprising:a carrier for accommodating a wafer;a carrier base for transporting said carrier, while accommodating a wafer, towards an opening of said semiconductor manufacturing equipment to close said opening;a transpo
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