최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0240669 (1999-02-02) |
우선권정보 | JP0072184 (1996-03-27) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 15 인용 특허 : 5 |
A susceptor in a semiconductor wafer heat treatment apparatus holds a wafer such that the wafer is made flat at a heat treatment temperature. In particular, the susceptor is constituted by an elastic platy member which is convex upward with respect to the direction of the gravity. Therefore, when th
[ What is claimed is:] [1.] An apparatus for semiconductor wafer heat treatment, comprising:a susceptor for holding a wafer, comprising an elastic platy member which is convex upward with respect to a direction of gravity, and generating stress between the susceptor and the wafer;a jig for supportin
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.