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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0273997 (1999-03-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 13 인용 특허 : 8 |
A method and apparatus are provided for making high purity and preferably oxygen free substantially void free and inclusion free copper castings such as billets from high purity copper. The castings are particularly useful to make sputtering targets used in sputtering deposition processes in the fab
[Thus, having described the invention, what is claimed is:] [1.]providing an open top container having a closed bottom and sidewalls for melting and holding copper therein;supplying high purity copper to the container;melting the copper in the container using a coil induction furnace wherein the coi
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