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[미국특허] Sample stage including a slider assembly 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • E04G-003/00
출원번호 US-0115949 (1998-07-15)
발명자 / 주소
  • Karam
  • II Raymond M.
출원인 / 주소
  • NanoMotion, Inc.
대리인 / 주소
    Nilles & Nilles, S.C.
인용정보 피인용 횟수 : 23  인용 특허 : 10

초록 ▼

A sample stage of a precision sample positioning system includes a sample plate supported above a base plate on a plurality of slider assemblies. Each slider assembly includes a base slider secured to a surface of the base plate and a stage slider secured to the sample plate. Each slider is made fro

대표청구항 ▼

[I claim:] [1.]a base plate including a planar support surface;a plurality of support sliders secured to said planar support surface, each of said plurality of support sliders having a substantially planar sliding surface arranged substantially parallel to said planar support surface;a sample plate

이 특허에 인용된 특허 (10) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Ghosh Syamal K. ; Chatterjee Dilip K. ; Kolb Theodore Richard, Air lubricated hydrodynamic ceramic bearings.
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  2. Moriyama Shigeo (Hachioji JPX) Ito Masaaki (Kokubunji JPX) Harada Tatsuo (Fuchu JPX), Apparatus for precisely moving a table.
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  3. Negwer Bernd (Andernach DEX), Bearing assembly with ceramic bearing faces.
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  4. Karam ; II Raymond M. (Goleta CA), Center moment suspension assembly.
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  5. Karam ; II Raymond M. (Santa Barbara CA), Magnetic head slider having a magnetic transducing element affixed to a slider body side surface.
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  6. Elings Virgil B. (Santa Barbara CA) Gurley John A. (Santa Barbara CA), Positioning device for scanning probe microscopes.
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  7. Lindsey Kevin (Middlesex GB2) Smith Stuart T. (Bedfordshire GB2), Precision motion slideways.
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  8. Mizuno Sadao (Nagoya JPX) Hoshino Akinori (Toyota JPX), Rail construction for machine tool.
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  9. Suzuki Shigemi (Chigasaki JPX) Mizukane Masahiro (Yokohama JPX), Sliding guide.
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  10. Karam ; II Raymond M. (620 E. Alamar Santa Barbara CA 93101), Transducer suspension damping via microstiffening.
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이 특허를 인용한 특허 (23) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Nesch,Ivan N.; Morrison,Timothy I., Apparatus and method for precise angular positioning.
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  2. Bradford, Paul; Fugard, David Kent, Bearing and expansion joint system including same.
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  3. Chan, Chew Foo, Efficient transfer of materials in manufacturing.
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  4. Choo, Weng Cheong; Bui, Vei Tzee @ Kelvin; Zhang, Yuanfeng; Tan, Ting Lik Edmund; Leong, Chee Wai; Hwang, Jong Youn; Lee, Shin Yit; Tey, Wee Jin; Ting, Kah Hing; Chua, Ai Ling Nancy, Efficient transfer of materials using automated guided vehicles in semiconductor manufacturing.
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  5. Markakis,Stephen M.; Lippire,Peter D., Environmental scanning probe microscope.
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  6. Sawada, Kiyoshi; Kawai, Tomohiko; Ebihara, Kenzo, Linear driving device.
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  7. Clark, Tracy M.; Webber, Todd; Bottasso, Michael; Mosher, Robert; King, Nathan, Linear motor transport for packaging and other uses.
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  8. Levy, Ady; Brown, Kyle A.; Bultman, Gary; Nikoonahad, Mehrdad; Wack, Dan; Fielden, John, Methods and systems for determining a critical dimension and overlay of a specimen.
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  9. Levy, Ady; Brown, Kyle A.; Smedt, Rodney; Bultman, Gary; Nikoonahad, Mehrdad; Wack, Dan; Fielden, John; Abdul-Halim, Ibrahim, Methods and systems for determining a critical dimension and overlay of a specimen.
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  10. Levy, Ady; Brown, Kyle A.; Smedt, Rodney; Bultman, Gary; Nikoonahad, Mehrdad; Wack, Dan; Fielden, John; Abdul-Halim, Ibrahim, Methods and systems for determining a critical dimension and overlay of a specimen.
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  11. Levy, Ady; Brown, Kyle A.; Smedt, Rodney; Bultman, Gary; Nikoonahad, Mehrdad; Wack, Dan; Fielden, John; Abdulhalim, Ibrahim, Methods and systems for determining a critical dimension and overlay of a specimen.
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  12. Bultman,Gary; Levy,Ady; Brown,Kyle A.; Nikoonahad,Mehrdad; Wack,Dan; Fielden,John, Methods and systems for determining a presence of macro and micro defects on a specimen.
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  13. Wack,Dan; Levy,Ady; Brown,Kyle A.; Bultman,Gary; Nikoonahad,Mehrdad; Fielden,John, Methods and systems for determining a property of a specimen prior to, during, or subsequent to lithography.
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  14. Viani, Mario; Proksch, Roger; Rutgers, Maarten; Cleveland, Jason; Hodgson, Jim, Modular atomic force microscope with environmental controls.
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  15. Viani, Mario; Proksch, Roger; Rutgers, Maarten; Cleveland, Jason; Hodgson, Jim, Modular atomic force microscope with environmental controls.
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  16. Backman, Michael H.; Sommerhalter, Jr., Frederick A.; Faizullabhoy, Mustansir A.; Chitayat, Anwar, Path arrangement for a multi-track linear motor system and method to control same.
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  17. King, Nathanael N.; Perreault, Brian M.; Clark, Tracy M.; Thornton, Richard D.; Young, Jason; Bottasso, Michael W.; Mendenhall, Jesse, Short block linear synchronous motors and switching mechanisms.
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  18. Stern, David, Systems and methods for high performance scanning.
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  19. King, Nathanael N.; Perreault, Brian M.; Clark, Tracy M.; Thornton, Richard D.; Young, Jason; Bottasso, Michael W., Transport system powered by short block linear synchronous motors.
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  20. King, Nathanael N.; Perreault, Brian M.; Clark, Tracy M.; Thornton, Richard D.; Young, Jason; Bottasso, Michael W., Transport system powered by short block linear synchronous motors.
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  21. Faizullabhoy, Mustansir; Chitayat, Anwar, Wireless encoder.
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  22. Faizullabhoy,Mustansir; Chitayat,Anwar, Wireless encoder.
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  23. Faizullabhoy,Mustansir; Chitayat,Anwar, Wireless encoder.
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