$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

3 point vacuum chuck with non-resilient support members 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B25B-011/00
출원번호 US-0384523 (1999-08-27)
발명자 / 주소
  • Otwell Robert
출원인 / 주소
  • Applied Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Thomason, Moser & Patterson
인용정보 피인용 횟수 : 28  인용 특허 : 17

초록 ▼

The present invention generally provides a workpiece handling device and, more particularly, a vacuum operated chuck for securing a substrate to a substrate handling device. In one embodiment, the invention provides a chuck having three vacuum chuck rings projecting from a chuck base and having no r

대표청구항 ▼

[What is claimed is:] [1.]a chuck base having a plurality of chuck support recesses formed therein and a plurality of evacuation ports formed therein in fluid communication with each of the recesses; anda plurality of rigid, non-elastomeric, chuck supports disposedwithin the chuck support recesses,

이 특허에 인용된 특허 (17)

  1. Hayes Lawrence P. (Berlin VT), Distortion free 3 point vacuum fixture.
    상세보기
  2. van de Ven Everhardus P. ; Broadbent Eliot K. ; Benzing Jeffrey C. ; Chin Barry L. ; Burkhart Christopher W. ; Lane Lawrence C., Exclusion guard and gas-based substrate protection for chemical vapor deposition apparatus.
    상세보기
  3. van de Ven Everhardus P. (Cupertino CA) Broadbent Eliot K. (San Jose CA) Benzing Jeffrey C. (San Jose CA) Chin Barry L. (Sunnyvale CA) Burkhart Christopher W. (San Jose CA), Gas-based backside protection during substrate processing.
    상세보기
  4. Aoyama Masaaki (Kanagawa JPX) Kimura Keiichi (Kanagawa JPX), Holding apparatus for holding an article such as a semiconductor wafer.
    상세보기
  5. Effner James F. (Walker MI), Means for holding workpiece for machining.
    상세보기
  6. Daly John K. (Scottsdale AZ), Rotary vacuum-chuck using no rotary union.
    상세보기
  7. Berry Anthony (Huntsville AL) Nerren Billy H. (Meridianville AL), Sample holder support for microscopes.
    상세보기
  8. Mitchell Robert, Universal fixture for supporting and holding populated sides of printed circuit board assemblies during processing.
    상세보기
  9. Hiyamizu Makoto (Saitama JPX) Nagashima Kazuhiro (Tochigi JPX) Tani Yasuhiro (Tokyo JPX), Vacuum chuck.
    상세보기
  10. Sakamoto Eiji (Sagamihara JPX) Ebinuma Ryuichi (Machida JPX) Hara Shinichi (Yokohama JPX) Marumo Mitsuji (Sagamihara JPX), Vacuum chuck.
    상세보기
  11. Tanaka Hirohisa (Kanagawa-ken JPX), Vacuum chuck apparatus.
    상세보기
  12. Beeding Jack D. (Rockford IL), Vacuum chuck with foam workpiece-supporting surface.
    상세보기
  13. Fortune William S. (14250 Dearborn St. Panorama City CA 91402), Vacuum operated holding fixture.
    상세보기
  14. Frosch ; Robert A. Administrator of the National Aeronautics and S pace ; Administration ; with respect to an invention of ; Zebus ; Pau l P. ; Packer ; Poley N. ; Haynie ; Cyrus C., Variable contour securing system.
    상세보기
  15. Weeks Anthony R. (Gilbert AZ) Norris Mark D. (Mesa AZ) Switzer Steven A. (Phoenix AZ), Wafer holder for semiconductor applications.
    상세보기
  16. Ueda Minoru (Osaka JPX), Wafer holding apparatus for holding a wafer.
    상세보기
  17. Wagner Rudolf (Fontnas CHX) Hirscher Hans (Bad Ragaz CHX), Workpiece carrier for a disk-shaped workpiece as well as a vacuum process space.
    상세보기

이 특허를 인용한 특허 (28)

  1. Walker, Charles M., Apparatus for and method of utilizing vacuum in machine tool operations.
    상세보기
  2. Camm,David Malcolm; Bumbulovic,Mladen; Cibere,Joseph; Elliott,J. Kiefer; McCoy,Steve; Stuart,Greg, Apparatuses and methods for suppressing thermally-induced motion of a workpiece.
    상세보기
  3. Ooi, Hiroyuki, Chucking device and chucking method.
    상세보기
  4. Ishikawa, Tetsuya; Roberts, Rick J.; Armer, Helen R.; Volfovski, Leon; Pinson, Jay D.; Rice, Michael; Quach, David H.; Salek, Mohsen S.; Lowrance, Robert; Backer, John A.; Weaver, William Tyler; Carlson, Charles; Wang, Chongyang; Hudgens, Jeffrey; Herchen, Harald; Lue, Brian, Cluster tool architecture for processing a substrate.
    상세보기
  5. Miyajima,Yoshikazu; Fujiwara,Yasuhiro, Exposure apparatus and device manufacturing method.
    상세보기
  6. Duval, Paul J.; Vayner, Vladimir, Fixture for assembling parts of a device such as a Wien filter.
    상세보기
  7. Smith Douglas R., Fluid distribution system.
    상세보기
  8. Fukano, Yoshihiro; Uchino, Tadashi, Manual switching valve.
    상세보기
  9. Camm, David Malcolm; Sempere, Guillaume; Kaludjercic, Ljubomir; Stuart, Gregory; Bumbulovic, Mladen; Tran, Tim; Dets, Sergiy; Komasa, Tony; Rudolph, Marc; Cibere, Joseph, Methods and systems for supporting a workpiece and for heat-treating the workpiece.
    상세보기
  10. Camm, David Malcolm; Sempere, Guillaume; Kaludjercic, Ljubomir; Stuart, Gregory; Bumbulovic, Mladen; Tran, Tim; Dets, Sergiy; Komasa, Tony; Rudolph, Marc; Cibere, Joseph, Methods and systems for supporting a workpiece and for heat-treating the workpiece.
    상세보기
  11. Chun-Hung Lin TW; Tzer-Kun Lin TW; Yun-Chuan Tu TW; Hann-Tsong Wang TW; Chin-Ching Wu TW, Non-contact pick-up device.
    상세보기
  12. Gaal, Christopher; Sinha, Jaydeep, Ring chuck to hold 200 and 300 mm wafer.
    상세보기
  13. Gaal, Christopher; Sinha, Jaydeep, Ring chuck to hold 200 and 300 mm wafer.
    상세보기
  14. Bulich,Drago, Rotatable vacuum coupling.
    상세보기
  15. Bulich, Drago, Rotating vacuum assisted carousel for packaging cable.
    상세보기
  16. Riker, Martin; Wang, Wei W., Substrate cleaning chamber and components.
    상세보기
  17. Hayashi, Daisuke; Takanashi, Morihiro, Substrate processing apparatus.
    상세보기
  18. Rice, Mike; Hudgens, Jeffrey; Carlson, Charles; Weaver, William Tyler; Lowrance, Robert; Englhardt, Eric; Hruzek, Dean C.; Silvetti, Dave; Kuchar, Michael; Katwyk, Kirk Van; Hoskins, Van; Shah, Vinay, Substrate processing sequence in a cartesian robot cluster tool.
    상세보기
  19. Yang, Hae Choon, Supply mechanism for the chuck of an integrated circuit dicing device.
    상세보기
  20. Camm, David Malcolm; Cibere, Joseph; Bumbulovic, Mladen, Systems and methods for supporting a workpiece during heat-treating.
    상세보기
  21. Inao, Yoshihiro; Kobari, Satoshi; Nakamura, Akihiko, Transport arm, transport apparatus and transport method.
    상세보기
  22. Khanna, Vijayeshwar D.; Sri-Jayantha, Sri M., Vacuum carriers for substrate bonding.
    상세보기
  23. Takahashi, Tamami, Vacuum contact pad.
    상세보기
  24. Takahashi, Tamami, Vacuum contact pad.
    상세보기
  25. Takahashi, Tamami, Vacuum contact pad.
    상세보기
  26. Steve Patrick Kinnard ; Eugene T. Plitt ; Eugene W. Plitt, Vacuum control device for holding a workpiece.
    상세보기
  27. Yang, Hae Choon, Vacuum holder for integrated circuit units.
    상세보기
  28. Camm, David Malcolm; Cibere, Joseph; Stuart, Greg; McCoy, Steve, Workpiece breakage prevention method and apparatus.
    상세보기

관련 콘텐츠

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로