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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0325838 (1999-06-04) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 34 |
A chemical delivery system which utilizes multiple techniques to achieve a suitable chemical purge of the chemical delivery system is provided. A purge sequence serves to purge the manifold and canister connection lines of the chemical delivery system prior to removal of an empty chemical supply can
[What is claimed is:] [11.]providing at least one liquid chemical from the chemical delivery system to the semiconductor process tool;purging at least a portion of the chemical delivery system of gas, the liquid chemical or contaminants, the purging including the use of at least three different purg
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