[특허]Self-propelled vacuum pump

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Self-propelled vacuum pump 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	F04B-003/00 F04B-023/14
출원번호	US-0337857 (1999-06-21)
발명자 / 주소	Hablanian Marsbed
출원인 / 주소	Varian, Inc.
대리인 / 주소	Fishman
인용정보	피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 7

초록 ▼

A vacuum pump, such as a turbomolecular pump, a molecular drag pump or a hybrid pump, is adapted for use with a backing pump. The vacuum pump includes a housing having an inlet port and an exhaust port for coupling to the backing pump, one or more vacuum pumping stages disposed in the housing, each of the vacuum pumping stages having a stationary member and a rotating member, and a gas turbine. The gas turbine includes a gas inlet, a gas outlet coupled to the exhaust port, and a rotor coupled to the rotating members of the vacuum pumping stages. A gas flow, produced by the backing pump, through the gas turbine causes the rotor and the rotating members of the vacuum pumping stages to rotate, wherein gas is pumped by the vacuum pumping stages from the inlet port to the exhaust port.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.]1. A vacuum pump comprising:a housing having an inlet port and an exhaust port for coupling to a backing pump;one or more vacuum pumping stages disposed in said housing, each of said vacuum pumping stages comprising a stationary member and a rotating member; anda gas turbine comprising a gas inlet, a gas outlet coupled to said exhaust port, and a rotor coupled to the rotating members of said vacuum pumping stages, wherein a gas flow, produced by the backing pump, through said gas turbine causes said rotor and the rotating members of said vacuum pumping stages to rotate, wherein gas is pumped by said vacuum pumping stages from said inlet port to said exhaust port.

이 특허에 인용된 특허 (7)

Wong David C. (Wisborough Green GB2) Schofield Nigel P. (Horsham GB2), Compound vacuum pumps.
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Schutz Gunter (Koln DEX) Englander Heinrich (Linnich DEX) von Schulz-Hausmann Friedrich Karl (Bonn DEX) Henning Hinrich (Bergisch Gladbach DEX), Friction vacuum pump with pump sections of different designs.
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Casaro Fausto (Turin ITX) Dolcino Luigi (Turin MA ITX) Hablanian Mars (Wellesley MA) Levi Giampaolo (Turin ITX), Turbomolecular pump.
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Ikegami Tatsuji (Otori-Higashi JPX) Ohbayashi Tetsuro (Otori-Higashi JPX) Yoshida Keiichi (Otori-Higashi JPX) Iguchi Masashi (Tokyo JPX), Vacuum pump.
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Ikegami Tatsuji (Sakai JPX) Ohbayashi Tetsuro (Sakai JPX) Yoshida Keiichi (Sakai JPX) Iguchi Masashi (Hachioji JPX), Vacuum pump.
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Mase Mashiro (Nogi JPX) Nagaoka Takashi (Chiyoda JPX) Tsutsumi Yoshitsugu (Nogi JPX) Taniyama Minoru (Nogi JPX) Terajima Makoto (Nogi JPX), Vacuum pump.
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Shoulders Kenneth R. (Woodside CA), Vacuum pump.
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이 특허를 인용한 특허 (4)

Myneni, Ganapati Rao, Alternative backing up pump for turbomolecular pumps.
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Eberl, Wolfgang, Gas friction pump.
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Schofield, Nigel Paul, Vacuum pumping arrangement.
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Stuart, Martin Nicholas, Vacuum pumps.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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