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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0269650 (1999-08-10) |
우선권정보 | JP0207866 (1997-08-01) |
국제출원번호 | PCT/JP97/03490 (1997-09-30) |
§371/§102 date | 19990810 (19990810) |
국제공개번호 | WO-9814987 (1998-04-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 56 인용 특허 : 6 |
This invention provides a cerium oxide abrasive with which the surfaces of substrates such as SiO.sub.2 insulating films can be polished at a high rate without causing scratches. The abrasive of the present invention comprises a slurry comprising cerium oxide particles whose primary particles have a
[ What is claimed is:] [1.]1. A cerium oxide abrasive comprising a slurry containing cerium oxide particles comprising plural primary particles wherein:said primary particles consist essentially of cerium oxide;said primary particles have a median diameter of from 30 nm to 250 nm;said cerium oxide p
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