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[미국특허] Wafer having top and bottom emitting vertical-cavity lasers 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-033/00
출원번호 US-0105573 (1998-06-25)
발명자 / 주소
  • Chirovsky Leo Maria
  • Cunningham John Edward
  • Goossen Keith Wayne
  • Hui Sanghee Park
  • Tseng Betty Jyue
출원인 / 주소
  • Lucent Technologies INC
대리인 / 주소
    Caccuro
인용정보 피인용 횟수 : 13  인용 특허 : 3

초록

A technique is described for determining the performance of substrate-side emitting VCSELs formed on a wafer. The technique involves forming top-emitting VCSELs on the same wafer as bottom-emitting VCSELs and then testing the top-emitting VCSELs and using the results to determine the performance of

대표청구항

[ We claim:] [1.]1. A vertical-cavity surface emitting laser (VCSEL) wafer comprisinga plurality of substrate-side emitting VCSELs formed on the wafer, each including a top mirror having a metal reflecting cap formed thereon andat least one VCSEL constructed having a top mirror without metal reflect

이 특허에 인용된 특허 (3) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Kuchta Daniel M., Method of semiconductor wafer testing.
  2. Morgan Robert A., Monolithic vertical cavity surface emitting laser and resonant cavity photodetector transceiver.
  3. Duboz Jean-Yves,FRX, Optoelectronic quantum well device having an optical resonant cavity and sustaining inter subband transitions.

이 특허를 인용한 특허 (13) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Johnson,Klein L., Hermetic chip-scale package for photonic devices.
  2. Hamaguchi, Tatsushi; Kuramoto, Masaru; Maeda, Yuki; Futagawa, Noriyuki, Light emitting element and method of manufacturing the same.
  3. Nurmikko, Arto V, Magneto-optoelectronic switch and sensor.
  4. Nurmikko,Arto V, Magneto-optoelectronic switch and sensor.
  5. Bowen, Terry Patrick; Ring, William Sean; Jiang, Ching-Long; Wilson, Randall B.; Soler, Mark S.; Breedis, John Baker; Anderson, Richard, Method for fabricating fiducials for passive alignment of opto-electronic devices.
  6. Csutak, Sebastian M.; Fowler, Burt W., Method for forming a semiconductor device for detecting light.
  7. Haji-Sheikh, Michael J.; Biard, James R.; Rabinovich, Simon; Guenter, James K.; Hawkins, Bobby M., Methods of conducting wafer level burn-in of electronic devices.
  8. Moy, Jean Pierre; Hugon, Xavier, Process for the collective fabrication of optical filtering components, and wafer of components.
  9. Haji-Sheikh, Michael J.; Biard, James R.; Guenter, James K.; Hawkins, Bobby M., Providing current control over wafer borne semiconductor devices using overlayer patterns.
  10. Haji-Sheikh, Michael J.; Biard, James R.; Guenter, James K.; Hawkins, Bobby M., Providing current control over wafer borne semiconductor devices using trenches.
  11. Haji-Sheikh, Michael J.; Biard, James R.; Guenter, James K.; Hawkins, Bobby M., Providing photonic control over wafer borne semiconductor devices.
  12. Haji Sheikh,Michael J.; Biard,James R.; Rabinovich,Simon; Guenter,James K.; Hawkins,Bobby M., Systems for wafer level burn-in of electronic devices.
  13. DeFelice, Richard Alden; Krishnamoorthy, Ashok V., Testing bottom-emitting VCSELs.

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