[특허]Method and apparatus for washing and drying semi-conductor devices

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B08B-003/02
출원번호	US-0248813 (1999-02-11)
우선권정보	SG0003976 (1998-10-02)
발명자 / 주소	Kiat Ho Boon,SGX Che Chua Hui,SGX
출원인 / 주소	Ultra Clean Technology Asia Pte. Ltd., SGX
대리인 / 주소	Christie, Parker & Hale, LLP
인용정보	피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 13

초록 ▼

A cleaning apparatus which comprises a spray cleaning arrangement capable of even cleaning of devices. The cleaning arrangement is disposed within a housing, and is directed towards a conveyor belt, which transports the device to be cleaned across the various wash, rinse and drying zones of the apparatus. At least one spray wand is provided for the circulation of a wash fluid having at least one row of holes disposed longitudinally thereacross for releasing the wash fluid onto the device to be washed. The spray wand has a decreasing internal traverse cross-sectional area from one end to the second end such that a substantially uniform internal pressure is maintained between the two ends during washing. The holes on the spray wands are preferably microtunnels which can be disposed at high density along the spray wand. The spray wand can also be rotated such that the direction of spray may be adjusted. The various wash, rinse and drying zones are ideally designed as modules with their own conveyor belts, such that contamination due to fluid carry-over is minimized. A top guiding system is also provided directional control to the moving devices.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [28.]28. An apparatus for washing devices comprising:a housing having a front end and a back end;a conveying system disposed within said housing for transporting said devices through said apparatus, said conveying system having a receiving end proximate said front end for receiving devices, an unloading end proximate said back end for moving said devices to the exterior, a wash zone there between, and at least one belt;at least one spray wand having a first and second end affixed to said housing within said wash zone, said first end adapted for attachment to a source of fluid supply, said spray wand having at least one row of holes disposed longitudinally there across for releasing said fluid onto said devices, said spray wand further having a decreasing internal area for fluid flowing from said first end to said second end whereby pressure drop across said spray wand during washing is compensated;a second housing having a second front end and a second back end, said second housing mechanically linked to said housing;a second conveying system disposed within said second housing for transporting said devices through said second housing, said second conveying system having a dryer receiving end proximate said second front end for receiving devices from said unloading end, a dryer unloading end proximate said second back end for moving said devices onwards, and a drying zone therebetween; andat least one dryer disposed within said drying zone for drying said device after washing, said dryer comprising at least one drying tube with pores disposed longitudinally thereon and a heating element disposed therein, said drying tubes disposed axially to the conveying direction such that drying fluid flowing from said pores is directed to the devices on said belt therebelow, wherein additional drying slots and drying tubes are provided and individually controlled in temperature such that said device further experiences a gradual decrease in temperature after the maximum drying temperature is reached.

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IPC	Description
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