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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0389475 (1999-09-03) |
우선권정보 | JP0116204 (1996-05-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 65 인용 특허 : 10 |
A fluid control device has formed in a valve main body a main channel communicating with an inlet of a channel within a massflow controller, and a relatively long subchannel and a relatively short subchannel both communicating with the main channel. The process gas to be assure of high purity is pas
[ What is claimed is:] [1.]1. A method for operating a fluid control device for alternatively passing a first fluid, which is the first in the order of importance of ensuring high purity, or second fluid, which is the second in the order of importance of ensuring higher purity, to a channel in a con
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