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[미국특허] IC testing apparatus 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01R-031/02
  • G01N-025/00
출원번호 US-0357906 (1999-07-21)
우선권정보 JP0209634 (1998-07-24)
발명자 / 주소
  • Kainuma Tadashi,JPX
  • Masuda Noboru,JPX
  • Nakajima Haruki,JPX
  • Igarashi Noriyuki,JPX
  • Nansai Yuichi,JPX
출원인 / 주소
  • Advantest Corporation, JPX
대리인 / 주소
    Birch, Stewart, Kolasch & Birch, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 66  인용 특허 : 9

초록 ▼

An IC testing apparatus 1 for performing a test by applying at least a low temperature stress to ICs to be tested comprising a refrigerant cycle 210 wherein at least a compressor 211, condenser 212, expansion valve 214 and evaporator 215 are connected in this order, and a cold air applying line 220

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.]1. An IC testing apparatus for testing by applying at least a low temperature thermal stress to an electronic device to be testing comprising:a refrigerant cycle wherein at least a compressor, a condenser, an expansion valve and an evaporator are connected in this order by

이 특허에 인용된 특허 (9) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Teshirogi Shoichi,JPX ; Ooeda Kenichi,JPX, Apparatus and method for testing product heat-resistance.
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  2. Rich Donald S. (Long Valley NJ), Circuit handler with sectioned rail.
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  3. Twigg Ray G. (San Diego CA) Klug Mark W. (San Diego CA) Marrone Santino (Poway CA) Hawkes Malcolm V. (San Diego CA), Electronic device test handler.
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  4. Bauernfeind Wolfgang J. (Thornton CO) Beard Frank T. (Westminster CO) Brown Edwin Z. (Westminster CO) McMurray Craig E. (Westminster CO) Pigg Joseph E. (Firestone CO), Environmental stress screening process.
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  5. Burward-Hoy Trevor, Method and apparatus for rapidly varying the operating temperature of a semiconductor device in a testing environment.
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  6. Noble ; Jr. Don E. (Odessa TX) Grice Sterling T. (Odessa TX) Rhodine Craig W. (Midland TX), Multiple device fixture used in conjunction with a standard temperature forcing unit.
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  7. Gower Roger ; Kingery John ; Guthrie J. Cameron ; Frost Kevin ; Miller Steve ; Uekert Ken, Semiconductor thermal conditioning apparatus and method.
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  8. O\Connor R. Bruce (San Diego CA) Toth Thomas E. (El Cajon CA) Ross James A. (Poway CA), Test station.
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  9. Lesley Arthur M. (Woodland Hills CA) Jaron William (Camarillo CA), Thermal stress screening system.
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이 특허를 인용한 특허 (66) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Bash, Cullen E.; Sharma, Ratnesh, Apparatus state determination method and system.
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  2. Di Stefano, Thomas H., Apparatus to control device temperature utilizing multiple thermal paths.
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  3. Di Stefano, Thomas H., Apparatus to control device temperature utilizing multiple thermal paths.
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  4. Dunklee, John, Chuck for holding a device under test.
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  5. Dunklee, John, Chuck for holding a device under test.
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  6. Dunklee, John, Chuck for holding a device under test.
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  7. Dunklee,John, Chuck for holding a device under test.
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  8. Dunklee,John, Chuck for holding a device under test.
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  9. Dunklee,John, Chuck for holding a device under test.
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  10. Stewart, Craig; Lord, Anthony; Spencer, Jeff; Burcham, Terry; McCann, Peter; Jones, Rod; Dunklee, John; Lesher, Tim; Newton, David, Chuck for holding a device under test.
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  11. Stewart,Craig; Lord,Anthony; Spencer,Jeff; Burcham,Terry; McCann,Peter; Jones,Rod; Dunklee,John; Lesher,Tim; Newton,David, Chuck for holding a device under test.
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  12. Andrews, Peter; Froemke, Brad; Dunklee, John, Chuck with integrated wafer support.
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  13. Andrews,Peter; Froemke,Brad; Dunklee,John, Chuck with integrated wafer support.
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  14. Andrews,Peter; Froemke,Brad; Dunklee,John, Chuck with integrated wafer support.
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  15. Yasutoshi Okamoto JP; Akihiro Mochizuki JP, Constant temperature cultivating apparatus.
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  16. Burke, Kevin, Controlling temperature of a test chamber which is equipped with a refrigerant cooling subsystem and a liquid nitrogen cooling subsystem.
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  17. Aizawa, Mitsunori; Yamada, Yuya, Device holder, inner unit, outer unit, and tray.
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  18. Tustaniwskyj,Jerry Ihor; Babcock,James Wittman, Dual feedback control system for maintaining the temperature of an IC-chip near a set-point.
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  19. Yamada, Yuya; Aizawa, Mitsunori, Fixture unit, fixture apparatus, handler apparatus, and test apparatus.
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  20. Dunklee, John; Norgden, Greg; Cowan, C. Eugene, Guarded tub enclosure.
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  21. Dunklee,John; Norgden,Greg; Cowan,C. Eugene, Guarded tub enclosure.
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  22. Kikuchi, Aritomo; Yamashita, Tsuyoshi; Aizawa, Mitsunori; Horino, Hiromitsu; Yamada, Yuya; Onozawa, Masataka, Handler apparatus that conveys a device under test to a test socket and test apparatus including the handler apparatus.
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  23. Yamashita, Tsuyoshi; Aizawa, Mitsunori; Horino, Hiromitsu; Yamada, Yuya; Onozawa, Masataka, Handler apparatus that conveys a device under test to a test socket and test apparatus that comprises the handler apparatus.
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  24. Yamashita, Tsuyoshi; Aizawa, Mitsunori; Horino, Hiromitsu; Yamada, Yuya; Onozawa, Masataka, Handler apparatus, adjustment method of handler apparatus, and test apparatus.
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  25. Aizawa, Mitsunori; Yamada, Yuya, Handler apparatus, device holder, and test apparatus.
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  26. Mirkhani, Ray; Mahoney, John, Hybrid cooling system for automatic test equipment.
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  27. Fukuda, Takashi, In-furnace temperature measuring method.
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  28. Andrews, Peter; Hess, David; New, Robert, Interface for testing semiconductors.
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  29. McFadden,Bruce, Localizing a temperature of a device for testing.
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  30. Lou, Choon Leong, Low temperature probing apparatus.
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  31. Di Stefano, Thomas H., Method and apparatus for controlling temperature.
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  32. Mardi, Mohsen Hossein, Methods and apparatus for testing of integrated circuits.
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  33. Szleszynski, Greg; Dobre, Adrian; Barjuca, Teofil; Mine, Ryutaro; Beach, Jim; Wehner, Adam; Balogh, Tim, Methods of preventing freezing of relays in electrical components.
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  34. Harris,Daniel L.; McCann,Peter R., Optical testing device.
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  35. Nordgren, Greg; Dunklee, John, Probe station.
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  36. Nordgren, Greg; Dunklee, John, Probe station.
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  37. Peters, Ron A.; Hayden, Leonard A.; Hawkins, Jeffrey A.; Dougherty, R. Mark, Probe station having multiple enclosures.
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  38. Peters,Ron A.; Hayden,Leonard A.; Hawkins,Jeffrey A.; Dougherty,R. Mark, Probe station having multiple enclosures.
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  39. Peters,Ron A.; Hayden,Leonard A.; Hawkins,Jeffrey A.; Dougherty,R. Mark, Probe station having multiple enclosures.
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  40. Cowan, Clarence E.; Tervo, Paul A.; Dunklee, John L., Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current.
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  41. Cowan,Clarence E.; Tervo,Paul A.; Dunklee,John L., Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current.
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  42. Cowan,Clarence E.; Tervo,Paul A.; Dunklee,John L., Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current.
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  43. Dunklee,John; Cowan,Clarence E., Probe station with low inductance path.
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  44. Dunklee,John; Cowan,Clarence E., Probe station with low inductance path.
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  45. Lesher, Timothy; Miller, Brad; Cowan, Clarence E.; Simmons, Michael; Gray, Frank; McDonald, Cynthia L., Probe station with low noise characteristics.
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  46. Lesher,Timothy; Miller,Brad; Cowan,Clarence E.; Simmons,Michael; Gray,Frank; McDonald,Cynthia L., Probe station with low noise characteristics.
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  47. Lesher,Timothy; Miller,Brad; Cowan,Clarence E.; Simmons,Michael; Gray,Frank; McDonald,Cynthia L., Probe station with low noise characteristics.
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  48. Navratil,Peter; Froemke,Brad; Stewart,Craig; Lord,Anthony; Spencer,Jeff; Runbaugh,Scott; Fisher,Gavin; McCann,Pete; Jones,Rod, Probe station with two platens.
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  49. Lesher, Timothy E., Probe testing structure.
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  50. Lesher,Timothy E., Probe testing structure.
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  51. Taylor, Troy; Callaway, Michael; Jones, Tom, Soak profiling.
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  52. Dunklee,John, Switched suspended conductor and connection.
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  53. Dunklee,John, Switched suspended conductor and connection.
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  54. Strid,Eric W.; Schappacher,Jerry B.; Carlton,Dale E.; Gleason,K. Reed, System for evaluating probing networks.
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  55. Strid,Eric W.; Schappacher,Jerry B.; Carlton,Dale E.; Gleason,K. Reed, System for evaluating probing networks.
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  56. Andrews, Peter; Hess, David, System for testing semiconductors.
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  57. Beaman,Daniel Paul; Corbin, Jr.,John Saunders; Kent,Dales Morrison; Mahaney, Jr.,Howard Victor; Phan,Hoa Thanh; Wright, IV,Frederic William, Temperature and condensation control system for functional tester.
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  58. Negishi, Kazuki; Hansen, Mark, Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test.
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  59. Rumbaugh,Scott, Thermal optical chuck.
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  60. Rumbaugh,Scott, Thermal optical chuck.
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  61. Schwindt, Randy J.; Harwood, Warren K.; Tervo, Paul A.; Smith, Kenneth R.; Warner, Richard H., Wafer probe station having a skirting component.
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  62. Schwindt,Randy J.; Harwood,Warren K.; Tervo,Paul A.; Smith,Kenneth R.; Warner,Richard H., Wafer probe station having a skirting component.
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  63. Schwindt,Randy J.; Harwood,Warren K.; Tervo,Paul A.; Smith,Kenneth R.; Warner,Richard H., Wafer probe station having a skirting component.
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  64. Harwood, Warren K.; Tervo, Paul A.; Koxxy, Martin J., Wafer probe station having environment control enclosure.
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  65. Harwood,Warren K.; Tervo,Paul A.; Koxxy,Martin J., Wafer probe station having environment control enclosure.
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  66. Melgaard, Hans L.; Bell, Jeffrey A., Wafer-level burn-in oven.
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