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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0289074 (1999-04-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 240 인용 특허 : 48 |
The present invention provides an electro-chemical deposition system that is designed with a flexible architecture that is expandable to accommodate future designs and gap fill requirements and provides satisfactory throughput to meet the demands of other processing systems. The electro-chemical dep
[ What is claimed is:] [1.]1. An electro-chemical deposition system, comprising:a) a mainframe having a mainframe wafer transfer robot;b) a loading station disposed in connection with the mainframe;c) one or more processing cells disposed in connection with the mainframe; andd) an electrolyte supply
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