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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0819053 (1997-03-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 10 인용 특허 : 10 |
A triaxial sensor substrate is adapted for use in measuring the acceleration and angular rate of a moving body along three orthogonal axes. The triaxial sensor substrate includes three individual sensors that are arranged in the plane of the substrate at an angle of 120 degrees with respect to one a
[ What is claimed is:] [2.]2. An accelerometer comprising:a sensor frame formed in a substrate;a proof mass having a pendulum formed in said substrate and a mass plate coupled to said pendulum;wherein said mass plate is constructed with and coupled to said pendulum with a predetermined geometry wher
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