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[미국특허] Micro electro-mechanical system for ejection of fluids 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B41J-002/175
출원번호 US-0113082 (1998-07-10)
우선권정보 AU0008011 (1997-07-15)
발명자 / 주소
  • Silverbrook Kia,AUX
출원인 / 주소
  • Silverbrook Research Pty Ltd, AUX
인용정보 피인용 횟수 : 43  인용 특허 : 3

초록 ▼

An integral structure within an MEMS device is used to filter out foreign bodies in a fluid supply. The system is initially constructed in a large planar form, and the effect of impurities is reduced by fabricating an integral grill structure in the path of the flow of the liquid so as to filter for

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.]1. A monolithic micro-mechanical system for the ejection of fluid, said system comprising:a wafer substrate;a series of nozzle chambers formed on said wafer substrate, each nozzle chamber comprising an ink ejection port formed in a first wall of said each nozzle for, in us

이 특허에 인용된 특허 (3) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Silverbrook Kia,AUX, Corrugated MEMS heater structure.
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  2. Campanelli Michael R. (Webster NY) Hawkins William G. (Webster NY) Drake Donald J. (Rochester NY) O\Neill James F. (Penfield NY), Ink jet printhead having integral filter.
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  3. Courian Kenneth J. ; Stoffel John L. ; Sader Richard A. ; Prasad Keshava A. ; Webb Steven L. ; Donovan David H. ; Moritz ; III Jules G. ; Keefe Brian J. ; Steinfield Steven W. ; Childers Winthrop D., Reliable high performance drop generator for an inkjet printhead.
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이 특허를 인용한 특허 (43) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. George, Steven M.; Herrmann, Cari F., AlOatomic layer deposition to enhance the deposition of hydrophobic or hydrophilic coatings on micro-electromechanical devices.
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  2. Bright,Victor M.; Elam,Jeffrey; Fabreguette,Francois; George,Steven M.; Hoivik,Nils; Lee,Yung Cheng; Linderman,Ryan; Tripp,Marie, Atomic layer deposition on micro-mechanical devices.
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  3. Appleby,Michael; Fraser,Iain; Atkinson,James E., Devices, methods, and systems involving castings.
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  4. Appleby,Michael; Fraser,Iain; Atkinson,James E., Devices, methods, and systems involving castings.
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  5. Hellekson, Ronald A.; Chen, Chien-Hua; Boucher, William R; Smith, Joshua W.; Craig, David M; Watts, Gary J., Die carrier with fluid chamber.
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  6. Letendre, William; Hasenbein, Robert; Gardner, Deane A., Ejection of drops having variable drop size from an ink jet printer.
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  7. Hoisington, Paul A.; Hasenbein, Robert A., Fluid droplet ejection devices and methods.
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  8. Shaarawi, Mohammed S.; Clark, Benjamin L., Fluid ejection device.
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  9. Hasenbein, Robert A.; Hoisington, Paul A.; Gardner, Deane A.; Barss, Steven H., High frequency droplet ejection device and method.
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  10. Miles, Ronald N.; Cui, Weili, Hinged MEMS diaphragm.
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  11. Miles, Ronald N.; Cui, Weili, Hinged MEMS diaphragm, and method of manufacture thereof.
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  12. Hoisington, Paul A.; Gardner, Deane A., Ink jet printing.
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  13. Hoisington, Paul A.; Gardner, Deane A., Ink jet printing.
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  14. Silverbrook, Kia, Inkjet nozzle assembly with low density suspended heater element.
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  15. Silverbrook, Kia, Inkjet printer utilizing low energy titanium nitride heater elements.
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  16. Silverbrook, Kia, Inkjet printhead having suspended heater element and ink inlet laterally offset from nozzle aperture.
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  17. Silverbrook, Kia, Inkjet printhead unit cell with heater element.
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  18. Silverbrook, Kia, Inkjet printhead with suspended heater element spaced from chamber walls.
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  19. Shaarawi,Mohammed S.; Clark,Benjamin L., Method for manufacturing a fluid ejection device.
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  20. Silverbrook, Kia, Method of ejecting fluid using wide heater element.
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  21. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Atkinson, James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  22. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Atkinson, James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  23. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Atkinson, James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  24. Appleby,Michael P.; Fraser,Iain; Atkinson,James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  25. Shaarawi, Mohammed S.; Hickey, Kenneth; O'Reilly, Will, Microfluidic architecture.
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  26. Shaarawi,Mohammed S.; Hickey,Kenneth; O'Reilly,Will, Microfluidic architecture.
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  27. Bibl,Andreas; Higginson,John A.; Hoisington,Paul A.; Gardner,Deane A.; Hasenbein,Robert A.; Biggs,Melvin L.; Moynihan,Edward R., Printhead having a thin pre-fired piezoelectric layer.
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  28. Bibl,Andreas; Higginson,John A.; Hoisington,Paul A.; Gardner,Deane A.; Hasenbein,Robert A.; Biggs,Melvin L.; Moynihan,Edward R., Printhead having a thin pre-fired piezoelectric layer.
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  29. Bibl, Andreas; Higginson, John A.; Hoisington, Paul A.; Gardner, Deane A.; Hasenbein, Robert A.; Biggs, Melvin L.; Moynihan, Edward R., Printhead having impedance features.
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  30. Silverbrook, Kia, Printhead having layered heater elements and electrodes.
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  31. Silverbrook, Kia, Printhead having nozzle plate formed on fluid distributors.
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  32. Silverbrook, Kia, Printhead having planar bubble nucleating heaters.
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  33. Silverbrook, Kia, Printhead having wide heater elements.
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  34. Silverbrook, Kia, Printhead integrated circuit having low mass heater elements.
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  35. Silverbrook, Kia, Printhead integrated circuit with low voltage thermal actuators.
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  36. Silverbrook, Kia; North, Angus John; McAvoy, Gregory John, Printhead with ink distribution through aligned apertures.
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  37. Appleby, Michael P.; Randolph, William T.; Klinger, Jill E., Systems for large area micro mechanical systems.
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  38. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Paulus, John, Systems, devices, and/or methods for manufacturing castings.
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  39. Appleby, Michael; Fraser, Iain; Paulus, John, Systems, devices, and/or methods for manufacturing castings.
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  40. Appleby, Michael; Paulus, John; Fraser, Iain; Klinger, Jill; Heneveld, Benjamin, Systems, devices, and/or methods for producing holes.
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  41. Silverbrook, Kia; North, Angus John; McAvoy, Gregory John, Thermal ink jet printhead.
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  42. Silverbrook, Kia, Thermal inkjet printhead having annulus shaped heater elements.
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  43. Silverbrook, Kia, Unit cell for thermal inkjet printhead.
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