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Process and device for the detection or determination of the position of edges 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01B-011/14
출원번호 US-0460451 (1999-12-13)
우선권정보 CH0002489 (1998-12-16)
발명자 / 주소
  • Halter Peter U.,CHX
출원인 / 주소
  • Hera Rotterdam B.V., NLX
대리인 / 주소
    Rankin, Hill, Porter & Clark LLP
인용정보 피인용 횟수 : 19  인용 특허 : 4

초록

For the detection of--or for the determination of the position of edges (K) of objects (G), a light source/sensor device arrangement in the manner of a light barrier is utilized, in which the light beam generated by the light source (12) is focussed to a light line (10) in an object plane (O). Fores

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.]1. A method for detecting a position of edges of objects, comprising the steps of:providing an object plane for said objects whose edges are to be detected;creating a light beam having a direction of propagation intersecting said object plane at an angle;focusing said ligh

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Igaki, Seigo; Nakakuki, Tadao; Inagaki, Takefumi; Oikawa, Shuetsu; Fujimura, Takashi, Apparatus for detecting edge of semitransparent plane substance.
  2. Taguchi Chiaki (Hisai JPX) Nishii Hiroyuki (Ise JPX), Device for detecting edge of transparent sheet of laminated transparent and translucent sheet assembly.
  3. Harris David E. (Powell OH), Method and apparatus for edge detection and location.
  4. Breyer Karl-Hermann,DEX ; Gotz Klaus-Dieter,DEX ; Beck Rolf,DEX, Method and apparatus measuring edges on a workpiece.

이 특허를 인용한 특허 (19)

  1. Carbone, II,Henry L.; Vogt,Brian R.; Dollevoet,Timothy G., Apparatus and method for inspecting articles.
  2. Vogt, Brian R.; Carbone, II, Henry L.; Clark, Clinton D.; Couillard, Jack; Dollevoet, Tim G.; Gimenez, Joseph J.; Koele, Matthew L.; Krupka, Kurt G.; Marohl, Bradley M.; Maxton, David A.; Morgan, Arc, Apparatus and method for inspecting pre-fastened articles.
  3. Koele, Matthew L.; Marohl, Bradley M.; Gimenez, Joseph J.; Dollevoet, Tim G., Apparatus and method for making and inspecting pre-fastened articles.
  4. Ishii, Yoshiyuki; Onishi, Kazuo, Apparatus for detecting light-transmissive sheet-like body.
  5. Ishii,Yoshiyuki; Onishi,Kazuo, Apparatus for detecting light-transmissive sheet-like body.
  6. Nguyen, Phong; Chou, Ming-Chun; Mills, Marvin, Automatic in situ pellicle height measurement system.
  7. Sawabe, Taiki; Nomaru, Keiji, Device for detecting the edges of a workpiece, and a laser beam processing machine.
  8. Dohi, Masayuki; Sakai, Itsuko; Sakai, Takayuki; Kikuchi, Shunji; Inoue, Takuto; Hori, Akihiro; Narita, Masayuki, Edge detection method for transparent substrate by detecting non-light-emitting region of transparent substrate.
  9. Chen, Tsung-Yueh, Identifying method and device for detecting specific region of translucent medium.
  10. Barnes, Arthur H.; Kaiser, Pierre J., Indication of whether print job is a cut media or continuous media print job.
  11. Vogt, Brian R.; Tomsovic, Charles R.; Csida, Jason G.; Lohoff, Mike L.; Damsteegt, Dale H.; Gimenez, Joseph J., Infrared detection of composite article components.
  12. Luxem, Wolfgang; Peter, Karlheinz; Spitz, Rolf, Method and device for detecting the position of a transparent moving conveyor belt.
  13. Jacobsen, Thomas; Kuphaldt, Wolfgang; Zessin, Joerg, Method and device for the detection of a substrate edge in a printing machine.
  14. Maeder, Carl Conrad, Optical position detection.
  15. Merettig, Gerhard; Bergbach, Roland; Goetz, Matthias; Waslowski, Kai; Hörsch, Ingolf, Optoelectronic sensor for detecting object edges.
  16. Merettig, Gerhard; Bergbach, Roland; Schonstein, Matthias; Horsch, Ingolf; Gotz, Matthias; Bohli, Alexander, Optoelectronic sensor for recognizing object edges.
  17. Koele, Matthew L.; Clark, Clinton D.; Workman, Jr., Jerome J.; Franklin, Kent A.; Flicker, Thomas M.; Marohl, Bradley M.; Gimenez, Joesph J., Process for the detection of marked components of a composite article using infrared blockers.
  18. Takahashi, Hiroyuki; Tokida, Chikara, Substrate positioning device and substrate positioning method.
  19. Pass, Thomas, Wafer alignment with restricted visual access.
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