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On-chip multiple layer vertically transitioning optical waveguide and damascene method of fabricating the same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G02B-006/12
출원번호 US-0217184 (1998-12-21)
발명자 / 주소
  • Allman Derryl D. J.
  • Hornbeck Verne C.
출원인 / 주소
  • LSI Logic Corporation
인용정보 피인용 횟수 : 13  인용 특허 : 14

초록

An optical waveguide extends vertically within the interior of an IC-like structure to route optical signals between horizontal waveguides in different layers of horizontal optical interconnects. A light reflecting structure is positioned at the intersection of the horizontal and vertical waveguides

대표청구항

[ The invention claimed is:] [1.]1. An optical waveguide in an IC-like structure, comprising a horizontal optical waveguide and a vertical optical waveguide extending vertically from an intersection with the horizontal waveguide within an interior of the IC-like structure, and a light reflecting str

이 특허에 인용된 특허 (14)

  1. Hauer Heiner (Fellbach DEX) Kuke Albrecht (Auenwald DEX), Arrangement for coupling optoelectronic components and optical waveguides to one another.
  2. Kropp Jorg-Reinhardt,DEX, Branching optical wave guide configuration.
  3. Falk R. Aaron (Renton WA), Integrated electro-optic arithmetic/logic unit and method for making the same.
  4. Kragl Hans (Ober-Ramstadt DEX), Integrated optical circuit having one or more waveguides arranged on a substrate.
  5. Manning Monte (Kuna ID), Method for forming a multilevel interconnect structure on a semiconductor wafer.
  6. Levenson Rgine (Fontenay aux Roses FRX) Liang Julienne (Fresnes FRX) Carenco Alain (Bourg la Reine FRX) Zyss Joseph (Sceaux FRX), Method for manufacturing strip optical waveguides.
  7. Thomas Michael E. (Milpitas CA), Method of fabricating an optical interconnect structure.
  8. Fujimoto Harry H. (Sunnyvale CA) Das Siddhartha (Sunnyvale CA), Method of forming an integrated circuit waveguide.
  9. Fujimoto Harry H. (Sunnyvale CA) Das Siddhartha (Sunnyvale CA), Method of making integrated circuit waveguide.
  10. Thomas Michael E. (Milpitas CA), Optical interconnects.
  11. Thomas Michael E. (Milpitas CA), Optical interconnects.
  12. Avanzino Steven (Cupertino CA) Gupta Subhash (San Jose CA) Klein Rich (Mountain View CA) Luning Scott D. (Menlo Park CA) Lin Ming-Ren (Cupertino CA), Self aligned via dual damascene.
  13. Jeng Shin-Puu, Semiconductor device having damascene interconnects.
  14. Carey David H. (Austin TX) Pietila Douglass A. (Puyallup WA) Sigmond David M. (Austin TX), Trenching techniques for forming channels, vias and components in substrates.

이 특허를 인용한 특허 (13)

  1. Parker, John; Fish, Gregory Alan; Spannagel, Martin A.; Labaro, Antonio, Atomic layer deposition bonding for heterogeneous integration of photonics and electronics.
  2. Mershon, Jayne L.; Alger, William O.; Brist, Gary A.; Long, Gary B., Connecting a component with an embedded optical fiber.
  3. Herbert, J. Michael, Detachable spill guard for a blender cup or other container.
  4. Perner, Martin, Light guide configuration for serial bi-directional signal transmission, optical circuit board, and fabrication method.
  5. Murali,Venkatesan, Method of creating an angled waveguide using lithographic techniques.
  6. Ouchi,Toshihiko, Method of making optical waveguide apparatus.
  7. Okada,Kuniaki; Yamamoto,Hiroyuki; Yoshida,Shinya; Kurata,Yukio, Optical component and method for producing thick polyimide film.
  8. Krishnamurthi, Mahesh; Ryckman, Judson; Rong, Haisheng; Liao, Ling; Frish, Harel; Harel, Oshrit; Barkai, Assia; Na, Yun-Chung; Liu, Han-Din, Optical coupler.
  9. Stevens,Rick C.; Thorson,Kevin J., Optical router.
  10. Ouchi, Toshihiko, Optical waveguide apparatus and method for making the same.
  11. Mule′, Tony; Kohl, Paul; Meindl, James D.; Padovani, Agnes; Gaylord, Thomas K.; Glytsis, Elias N.; Allen, Sue Ann B., Optical waveguides formed from nano air-gap inter-layer dielectric materials and methods of fabrication thereof.
  12. He, Zhong-Xiang; Liu, Qizhi; Meunier, Ronald G.; Shank, Steven M., Optoelectronic structures having multi-level optical waveguides and methods of forming the structures.
  13. He, Zhong-Xiang; Liu, Qizhi; Meunier, Ronald G.; Shank, Steven M., Optoelectronic structures having multi-level optical waveguides and methods of forming the structures.
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