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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0514966 (2000-02-29) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 64 인용 특허 : 27 |
A two-component porous material including small silicalite crystals in a porous binder provides a low dielectric constant material useful as an insulating layer in microelectronic devices. The silicalite/binder porous material uses silicalite nanocrystals smaller than the characteristic dimensions o
[ I claim:] [1.]1. An integrated circuit device comprising one or more dielectric layers, wherein at least one of said one or more dielectric layers comprises silicalite crystals. [11.]11. A method of making a porous insulating layer as part of an integrated circuit device, the method comprising:dep
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