[특허]Turbo-molecular pump

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Turbo-molecular pump 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	F04D-019/04
출원번호	US-0104171 (1998-06-25)
우선권정보	JPX, 19980127, 10-029160
발명자 / 주소	Ikegami Tetsuma,JPX Miyamoto Matsutaro,JPX Kawasaki Hiroyuki,JPX
출원인 / 주소	Ebara Corporation, JPX
대리인 / 주소	Armstrong, Westerman, Hattori, McLeland & Naughton, LLP.
인용정보	피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 5

초록 ▼

A turbo-molecular pump of high safety and reliability has been developed so that if an abnormal condition should develop on the rotor structure, it will not lead to damage to the stator or pump casing to cause loss of vacuum in a vacuum processing system. The turbo-molecular pump comprises a pump casing housing a stator and a rotor therein, a vane pumping section and/or a groove pumping section comprised by the stator and the rotor, and a constriction releasing structure for releasing constriction of at least a part of the stator when an abnormal torque is applied to the stator by the rotor.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [22.]22. A turbo-molecular pump comprising:a pump casing housing a stator and a rotor therein;a vane pumping section comprised by said stator and said rotor; anda constriction releasing structure, contained within said pump casing, for releasing constriction of at least a part of said stator in said vane pumping section, said constriction releasing structure comprising a fixation section which loses fixing function when an abnormal torque is applied to said stator by said rotor.

이 특허에 인용된 특허 (5)

Miyazaki Seizo (Kawasaki JPX) Kitahara Daijiro (Tokyo JPX) Saito Shiro (Tokyo JPX), Double-row, ball bearing and method of producing the same.
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Balj Otto E. (3363 Charleston Way Los Angeles CA 90068), Free spool inducer pump.
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Jones Emlyn (Derby GB2) Hodgson Derek (Derby GB2), Gas turbine engine casing.
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Mohn Frank (110 Coombe Lane London GB2 SW20 0Ay), Pump or compressor unit.
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Becker Willi (Braunfels DEX), Turbo-molecular pump.
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이 특허를 인용한 특허 (8)

Matthew Fenton Davis, Energy dissipating coupling.
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Kabasawa, Takashi; Nonaka, Manabu; Miwata, Tooru, Molecular pump for forming a vacuum.
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Lee, Sung-Il, Turbo pump and processing apparatus comprising the same.
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Ikegami, Tetsuma; Miyamoto, Matsutaro; Kawasaki, Hiroyuki, Turbo-molecular pump.
상세보기
Miyamoto, Matsutaro; Ogamino, Hiroaki; Ikegami, Tetsuma; Kawasaki, Hiroyuki, Turbo-molecular pump.
상세보기
Stanzel,Joerg, Turbomolecular pump.
상세보기
Maniglier, Laurent, Turbomolecular pump having multistage stator spacers.
상세보기
Jostlein,Hans, Ultra-high speed vacuum pump system with first stage turbofan and second stage turbomolecular pump.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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