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Reticle SMIF pod in situ orientation 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-085/00
출원번호 US-0548174 (2000-04-13)
발명자 / 주소
  • Timothy E. Neary
출원인 / 주소
  • International Business Machines Corporation
대리인 / 주소
    Wood, Phillips, VanSanten, Clark & Mortimer
인용정보 피인용 횟수 : 11  인용 특허 : 8

초록 ▼

A reticle SMIF pod for in situ orientation comprises a pod door. A pod cover is removably receivable on the door to define an interior space. A nest assembly has a plate resting on the pod door in the interior space and a core extending downwardly from the plate through an opening in the pod door. T

대표청구항 ▼

1. A SMIF pod comprising:a pod door; a pod cover removably receivable on the door to define an interior space; a nest assembly having a plate resting on the pod door in the interior space and a core extending downwardly from the plate through an opening in the pod door, whereby the plate is rotatabl

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Nakazato Hiroshi (Yokohama JPX) Nakamura Gen (Yokohama JPX) Yoshinari Satoshi (Yokohama JPX), Container for a plate-like article.
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  2. Buckingham John S. (Roanoke TX), Device protective apparatus.
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  3. Iizuka Kazuo (Yokohama JPX) Tokuda Yukio (Kawasaki JPX) Kosugi Masao (Yokohama JPX), Mask storing mechanism.
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  4. Williams Randall S. (Chaska MN) Cheesebrow Nicholas T. (St. Paul MN), Mechanical interface wafer container.
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  5. McKenna Douglas B. ; Briner Donald R. ; Laramore Christopher D., Multiple interface door for wafer storage and handling container.
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  6. Grabbe Dimitry G. (Middletown PA) Korsunsky Iosif (Harrisburg PA), Protective carrier and securing means therefor.
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  7. Bonora Anthony C. ; Rosenquist Frederick T. ; Jain Sudhir ; Davis Mark R., Sealable, transportable container having a breather assembly.
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  8. Bell Sonny ; Chang Buddy ; Lelong Xavier Charles ; Pacheco Edward Joseph ; Valdes Bruno Alejandro ; Zung Michael, Two-piece tube.
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이 특허를 인용한 특허 (11)

  1. Lin, Chih-Ming; Chiu, Ming-Chien, Container and liner thereof.
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  2. Extrand, Charles W.; Moon, Sung In, Diamond like carbon coating of substrate housings.
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  3. Extrand, Charles W.; Moon, Sung In, Diamond like carbon coating of substrate housings.
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  4. Wu, Kung Chris, End effector gripper arms having corner grippers which reorient reticle during transfer.
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  5. Elliott, Martin R.; Shah, Vinay, Methods and apparatus for mapping carrier contents.
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  6. Gambe, Masahiko, Orientation adjustment device and orientation adjustment method.
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  7. CletusWittman,Boyd, Reticle carrier.
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  8. Lystad, John; Kolbow, Steven P., Reticle pod with cover to baseplate alignment system.
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  9. Gregerson, Barry; Halbmaier, David; Sumner, Stephen; Wiseman, Brian; Tieben, Anthony Mathius; Strike, Justin, Reticle pod with isolation system.
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  10. Nagamine, Shohei, Storage shelf.
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  11. Pylant, James D.; Bradley, Scott C., Wafer storage container with wafer positioning posts.
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