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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0500786 (2000-02-09) |
우선권정보 | JP-0031528 (1999-02-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 2 |
In an air feeder for supplying air with a predetermined temperature and humidity into a cup in a resist coating unit provided in a coating and developing system, a cooling section, a by-pass, a heating section, a humidifying section, and a blower are provided. 55% of introduced air is cooled in the
1. A substrate processing apparatus comprising a processing container for processing a substrate and an air feeder for controlling temperature and humidity of air introduced from an air inlet and supplying the air to the processing container,wherein the air feeder comprises: a cooling section that c
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