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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0753512 (2001-01-03) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 200 인용 특허 : 21 |
A torsional micro-mechanical mirror system includes a mirror assembly rotatably supported by a torsional mirror support assembly for rotational movement over and within a cavity in a base. The cavity is sized sufficiently to allow unimpeded rotation of the mirror assembly. The mirror assembly includ
1. A process for fabricating a torsional micro-mechanical mirror system, comprising:providing a wafer substrate of a substrate material; providing electrical contact pads and anchors for torsional spring structures on one surface of the wafer; forming the torsional spring structures on the anchors;
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