$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Seal for wafer containers 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-085/00
출원번호 US-0226427 (1999-01-06)
발명자 / 주소
  • Dennis J. Krampotich
  • D. Kerry Kiser
  • Michael D. Peterson
출원인 / 주소
  • Fluoroware, Inc.
대리인 / 주소
    Patterson, Thuente, Skaar & Christensen, P.A.
인용정보 피인용 횟수 : 22  인용 특허 : 7

초록

A wafer container comprising an enclosure portion with a door frame defining an opening for insertion and removal of wafers and a door for insertion into the door frame for closing the opening and sealing with the door frame has an improved elastomeric seal. In a preferred embodiment of the inventio

대표청구항

1. A sealable container for containing wafers, the container comprising an enclosure portion with a door frame portion defining a rectangular open side and a rectangular door sized for insertion towards and seating in the door frame thereby closing said open side, the door frame comprising a rectang

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Yamada Naoki,JPX ; Terada Mitsuo,JPX ; Nishizawa Kiyoshi,JPX ; Uchida Jun,JPX, Gasket for use in a container.
  2. Grohrock Peter (Hoehenkirchen-Siegertsb DEX), Lockable container for transporting and for storing semiconductor wafers.
  3. Ott Richrd B. (Eau Claire WI), Pressure cooker interlock.
  4. Murata Masanao,JPX ; Tanaka Tsuyoshi,JPX ; Morita Teruya,JPX, Sealable container.
  5. Bonora Anthony C. (Menlo Park CA) Wartenbergh Robert P. (Woodside CA) Jain Sudhir (Fremont CA) Davis Mark R. (Mountain View CA), Sealable transportable container having improved liner.
  6. Grohrock Peter (Hoehenkirchen DEX), Transport container with an interchangeable inside container.
  7. Meyer Jeffry R. (Penn Hills Township ; Allegheny County) Kole Richard P. (Murrysville) Bridge Kevin V. (Unity Township ; Westmoreland County PA), Water tight door.

이 특허를 인용한 특허 (22)

  1. Westra, Thewis Minne; Van Der Vinne, Ake Jan Siert, Appliance with seal between two housing shells.
  2. Okabe, Tsutomu; Miyajima, Toshihiko; Suzuki, Hitoshi, Gas replacement system.
  3. Hayashi, Eizo, Gasket.
  4. Miki, Yohei; Furubayashi, Jun, Gasket.
  5. Hachtmann,Bruce, Memory disk shipping container with improved contaminant control.
  6. Chiu, Ming Lung, Pod with guiding-locking piece therein.
  7. Leer, Rick L.; DeVore, Timothy S.; Oyler, Thomas C., Pressurized tank sprayer having lid seal.
  8. Tieben, Anthony Mathius; Halbmeier, David L.; Kolbow, Steven P., Purge system for a substrate container.
  9. Yajima,Toshitsugu; Kamada,Toshiyuki, Seal member, and substrate storage container using the same.
  10. Takahashi,Masato; Fujimori,Yoshiaki; Azuma,Yoshio; Nishimura,Yasuyuki; Horita,Naohiro, Sealing element with a protruding part approximately obliquely outward and a hermetic container using the same.
  11. Burns,John; Fuller,Matthew A.; King,Jeffery J.; Forbes,Martin L.; Smith,Mark V.; Zabka,Michael, Substrate carrier.
  12. Tieben, Anthony Mathius; Lystad, John; Halbmaier, David L., Substrate container with fluid-sealing flow passageway.
  13. Tieben,Anthony Mathius; Lystad,John; Halbmaier,David L., Substrate container with fluid-sealing flow passageway.
  14. Gregerson, Barry; Halbmaier, David; Sumner, Stephen; Wiseman, Brian; Tieben, Anthony Mathius; Strike, Justin, Substrate container with pressure equalization.
  15. Sasaki, Shigenobu; Ohori, Shinichi; Yamagishi, Hiroki, Substrate storage container.
  16. Ozawa, Kazunori; Inoue, Kazuya; Tomita, Minoru, Substrate storing container.
  17. Matsutori,Chiaki; Oyama,Takaharu, Thin plate storage container and lid having at least one thin plate supporting member.
  18. Cheesman, Shawn; Eggum, Shawn D., Wafer carrier with wafer retaining system.
  19. Bores, Gregory; Zabka, Michael; Gregerson, Barry, Wafer container cushion system.
  20. Gregerson, Barry; Fuller, Matthew A., Wafer container with door interface seal.
  21. Tieben, Anthony Mathius; Lystad, John, Wafer container with sealable door.
  22. Eggum, Shawn D., Wafer enclosure sealing arrangement for wafer containers.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로