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[미국특허] Gas-driven microturbine 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H02N-001/00
  • F02C-003/10
출원번호 US-0516600 (1999-07-14)
발명자 / 주소
  • Jeffrey J. Sniegowski
  • Murray S. Rodgers
  • Paul J. McWhorter
  • Daniel P. Aeschliman
  • William M. Miller
출원인 / 주소
  • The United States of America as represented by the United States Department of Energy
대리인 / 주소
    Dickson G. Kehl
인용정보 피인용 횟수 : 12  인용 특허 : 8

초록 ▼

A microturbine fabricated by a three-level semiconductor batch-fabrication process based on polysilicon surface-micromachining. The microturbine comprises microelectromechanical elements formed from three polysilicon multi-layer surfaces applied to a silicon substrate. Interleaving sacrificial oxide

대표청구항 ▼

1. A gas-driven microturbine developed using a polysilicon surface-micromachining batch-fabricated technique comprising:a substrate base; a holding tank formed on said substrate base; a fuel delivery system formed on said substrate base further comprising at least one inlet tube for transporting a f

이 특허에 인용된 특허 (8) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Guckel Henry (Madison WI) Christenson Todd R. (Madison WI) Skrobis Kenneth (Madison WI), Formation of microstructures using a preformed photoresist sheet.
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  2. Howe Roger T. (Lafayette CA) Lang Jeffrey H. (Waltham MA) Schlecht Martin F. (Lexington MA) Schmidt Martin A. (Newton Highlands MA) Senturia Stephen D. (Boston MA) Mehregany Mehran (Shaker Heights OH, Method for fabricating side drive electrostatic micromotor.
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  3. Muller Richard S. (Kensington CA) Fan Longsheng (Berkeley CA) Tai Yu C. (Albany CA), Micro motors and method for their fabrication.
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  4. Wiegele Thomas G. ; Wyatt Karl W. ; Duffie Neil A., Micro-turbo generator device.
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  5. Garcia Ernest J. (Albuquerque NM) Sniegowski Jeffry J. (Albuquerque NM), Microfabricated microengine for use as a mechanical drive and power source in the microdomain and fabrication process.
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  6. Kuwano Yukinori (Katano JPX) Nishikuni Masato (Hirakata JPX) Noguchi Shigeru (Hirakata JPX) Tanaka Makoto (Hirakata JPX) Kuriyama Hiroyuki (Minoo JPX) Terakawa Akira (Nara JPX) Nakamura Noboru (Uji J, Micromachine.
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  7. Ueda Minoru (Osaka JPX) Iiyama Michitomo (Osaka JPX), Process for fabricating micromachines.
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  8. Adams Victor J. (Tempe AZ) Gutteridge Ronald J. (Paradise Valley AZ), .
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이 특허를 인용한 특허 (12) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Wilson,Erich A., Bracket/spacer optimization in bladeless turbines, compressors and pumps.
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  2. Appleby,Michael; Fraser,Iain; Atkinson,James E., Devices, methods, and systems involving castings.
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  3. Appleby,Michael; Fraser,Iain; Atkinson,James E., Devices, methods, and systems involving castings.
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  4. Landis, Geoffrey A., MEMS closed chamber heat engine and electric generator.
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  5. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Atkinson, James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  6. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Atkinson, James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  7. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Atkinson, James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  8. Appleby,Michael P.; Fraser,Iain; Atkinson,James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  9. Appleby, Michael P.; Randolph, William T.; Klinger, Jill E., Systems for large area micro mechanical systems.
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  10. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Paulus, John, Systems, devices, and/or methods for manufacturing castings.
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  11. Appleby, Michael; Fraser, Iain; Paulus, John, Systems, devices, and/or methods for manufacturing castings.
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  12. Appleby, Michael; Paulus, John; Fraser, Iain; Klinger, Jill; Heneveld, Benjamin, Systems, devices, and/or methods for producing holes.
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