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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0376270 (1999-08-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 7 |
A method and apparatus heats ultrapure water using microwaves. Chambers such as pipes containing the water are capable of admitting microwaves to the water, allowing the microwaves to heat the water. The pipes may be made of inert material such as PVDF or quartz that will not introduce contamination
1. An apparatus for providing heated ultrapure water, comprising:an ultrapure water purification system having an inlet for receiving water having a purity level less than ultrapure, the ultrapure water purification system for purifying the water received at the ultrapure water purification system i
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