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Medium flow meter 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01F-001/68
출원번호 US-0272575 (1999-03-19)
발명자 / 주소
  • Theodorus Simon Joseph Lammerink NL
출원인 / 주소
  • Berkin B.V. NL
대리인 / 주소
    Young & Thompson
인용정보 피인용 횟수 : 15  인용 특허 : 13

초록

The invention relates to a device for measuring the flow of a medium e.g., a gaseous medium or a fluid medium, which device is based on measuring and affecting the temperature distribution of a medium flowing along, which flow sensor comprises two object, each comprising a heating element and a temp

대표청구항

1. A device for measuring a physical parameter of a medium, said device comprising:two measuring objects spaced apart at a predetermined distance, each one of said two measuring objects comprising a dissipator arranged in thermal contact with a flowing medium whose physical parameter is to be measur

이 특허에 인용된 특허 (13)

  1. Handtmann Dieter (Sindelfingen DEX) Kuhn Ulrich (Renningen-Malmsheim DEX), Apparatus for measuring air quantity.
  2. Handtmann Dieter (Sindelfingen DEX), Arrangement for measuring the mass flow-rate of a flowing medium.
  3. Grnwald Werner (Gerlingen DEX), Device for determining the flow rate of a flowing medium.
  4. Harter James R. (Miami FL) Freeman Gary M. (Miami FL), Flow monitoring device.
  5. Sato Yukito,JPX ; Yamaguchi Takayuki,JPX ; Shoji Hiroyoshi,JPX ; Azumi Junichi,JPX ; Kaminishi Morimasa,JPX, Flow sensor having an intermediate heater between two temperature-sensing heating portions.
  6. Isoda Yoritaka (Amagasaki JPX), Mass flowmeter.
  7. Vaitkus Rimantas,LTX, Measuring device and measuring method.
  8. Phillips Melvin R. (Mims FL) Kaine Eugene (Oviedo FL), Method and device for measuring fluid velocities.
  9. Drexel Charles F. (Rolling Hills CA) Mudd Daniel T. (Long Beach CA), Method for in-line calibration verification of mass flow meters.
  10. Durham ; Jr. Kenneth M. (Garland TX) Tarpley Roy W. (Garland TX) Rehn Larry A. (Rowlett TX), Method of automated fluid flow measurement.
  11. Zemel Jay N. (Jenkintown PA) Rahnamai Hamid (Philadelphia PA), Pyroelectric anemometer.
  12. Sultan Michel F. (Troy MI) Harrington Charles R. (Troy MI) O\Rourke Michael J. (Warren MI), Vapor composition and flow sensor.
  13. Bonne Ulrich (Hopkins MN), Versatile, overpressure proof, absolute pressure sensor.

이 특허를 인용한 특허 (15)

  1. Homan, Jeffrey J.; Arno, Jose I.; Sweeney, Joseph D., Apparatus and process for integrated gas blending.
  2. Dimeo, Jr., Frank; Chen, Philip S. H.; Neuner, Jeffrey W.; Welch, James; Stawasz, Michele; Baum, Thomas H.; King, Mackenzie E.; Chen, Ing-Shin; Roeder, Jeffrey F., Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems.
  3. Mayer,Felix; Lechner,Moritz; Hornung,Mark; von Waldkirch,Marc, Flow sensor with flow-adaptable analog-digital-converter.
  4. Potash, Michael S.; Helfrick, Albert D., Hot wire anemometer.
  5. Arno,Jose, Infrared thermopile detector system for semiconductor process monitoring and control.
  6. Arno,Jose, Infrared thermopile detector system for semiconductor process monitoring and control.
  7. L철tters,Joost Conrad, Mass flowmeter having measuring ranges measured by two separate methods.
  8. Arno, Jose I., Monitoring system comprising infrared thermopile detector.
  9. Arno,Jose I., Monitoring system comprising infrared thermopile detector.
  10. Trescott, Robert, Non-invasive thermal dispersion flow meter with chronometric monitor for fluid leak detection.
  11. Arno, Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
  12. Arno, Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
  13. Arno,Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
  14. Redemann, Eric J.; Wang, Chiun; Maginnis, Thomas Owen, System for and method of providing a wide-range flow controller.
  15. Arno, Jose I.; Despres, Joseph R.; Letaj, Shkelqim; Lurcott, Steven M.; Baum, Thomas H.; Zou, Peng, TPIR apparatus for monitoring tungsten hexafluoride processing to detect gas phase nucleation, and method and system utilizing same.
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