최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0766842 (2001-01-23) |
우선권정보 | JP-0252213 (1997-09-17); JP-0307436 (1997-11-10) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 10 인용 특허 : 5 |
In a micro device including a through hole for piercing a substrate and a fragile part provided around or across a part corresponding to a through hole of a multilayer film and relatively thinner than the other part, an opening can be formed in the multilayer film by cutting the multilayer film alon
1. A micro device comprising:a substrate; multilayer film structure comprising an active plate and an active plate actuator for driving said active plate on one side of said substrate; a through hole piercing said substrate; and a fragile part disposed on said multilayer film around or across a part
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.