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Micro device, ink-jet printing head, method of manufacturing them and ink-jet recording device 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B41J-002/045
출원번호 US-0766842 (2001-01-23)
우선권정보 JP-0252213 (1997-09-17); JP-0307436 (1997-11-10)
발명자 / 주소
  • Yutaka Furuhata JP
  • Yoshinao Miyata JP
  • Hajime Mizutani JP
출원인 / 주소
  • Seiko Epson Corporation JP
대리인 / 주소
    Sughrue Mion, PLLC
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 5

초록

In a micro device including a through hole for piercing a substrate and a fragile part provided around or across a part corresponding to a through hole of a multilayer film and relatively thinner than the other part, an opening can be formed in the multilayer film by cutting the multilayer film alon

대표청구항

1. A micro device comprising:a substrate; multilayer film structure comprising an active plate and an active plate actuator for driving said active plate on one side of said substrate; a through hole piercing said substrate; and a fragile part disposed on said multilayer film around or across a part

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. Renshaw Kevin J., Apparatus and method for measuring the side slip of a low observable aircraft.
  2. Currie John F. (Montreal CAX) Ivanov Dentcho V. (Pierrefonds CAX) Lecours Andre (Longueuil CAX), Implantable medication dispensing device.
  3. Furuhata Yutaka,JPX ; Miyata Yoshinao,JPX ; Mizutani Hajime,JPX, Micro device, ink-jet printing head, method of manufacturing them and ink-jet recording device.
  4. Hellbaum Richard F. (Hampton VA) Bryant Robert G. (Poquoson VA) Fox Robert L. (Hayes VA), Thin layer composite unimorph ferroelectric driver and sensor.
  5. Hoisington Paul A. (Norwich VT) Moynihan Edward R. (Plainfield NH) Gailus David W. (Nashua NH), Thin-film transducer ink jet head.

이 특허를 인용한 특허 (10)

  1. Takahagi, Hiroshi; Noto, Nobuhiro; Sato, Takashi; Kashimura, Akira; Yamada, Kenji; Kugai, Kenichi, Configuration of inkjet head realizing uniform ink ejection performance.
  2. Fang,Po Hua; Huang,Yin Chun, Image scanner.
  3. Fang,Po Hua; Huang,Yin Chun, Image scanner.
  4. Mita, Tsuyoshi; Hori, Hisamitsu, Liquid discharging head with recess in vibration plate.
  5. Murata,Michiaki, Liquid droplet ejecting head and liquid droplet ejecting device.
  6. Murata,Michiaki; Kondoh,Yoshinao; Usami,Hiroyuki, Liquid droplet ejecting head and liquid droplet ejecting device.
  7. Ozawa, Kinya, Liquid ejection head and liquid ejection apparatus.
  8. Tokunaga, Hiroyuki, Method for producing ink jet recording head.
  9. Wijngaards, David D. L.; Reinten, Hans; Stolk, Hendrik J.; Westland, Alex N., Method of manufacturing a piezoelectric ink jet device.
  10. Shimada,Masato; Takahashi,Tetsushi, Method of manufacturing liquid jet head.
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