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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0450162 (1999-11-29) |
우선권정보 | JP-0337224 (1998-11-27); JP-0371726 (1998-12-28); JP-0217013 (1999-07-30); JP-0330093 (1999-11-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 69 인용 특허 : 9 |
The present invention is to provide ceramic members for being used as members constituting a processing chamber for etching or cleaning semiconductor substrates or wafers by halogen plasma. A ceramic member includes at least 10% by volume of a compound of yttrium-aluminum-garnet (YAG) phase and not
1. A ceramic member having a resistance to halogen plasma, comprising not less than 10% by volume of a phase of yttrium-aluminum-garnet and not more than 90% by volume of at least a phase of aluminum oxide, which is formed of a sintered material containing as a main component any one of a combinatio
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