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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0599523 (2000-06-23) |
우선권정보 | DE-0029406 (1999-06-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 45 인용 특허 : 3 |
An apparatus records the depth profiles in a specimen with a reference beam and with a device for spatially superposing the measuring beam reflected from the specimen with the reference beam. The reference beam is coherent to the measuring beam in respect to a reference point of time. An evaluation
1. An arrangement for recording a depth profile in a specimen, the arrangement comprising: an optical device for generating a measuring beam directed onto and reflected from the specimen and for generating a reference beam coherent to said measuring beam in respect to a reference point of time; a d
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