[특허]Sputtering alloy films using a crescent-shaped aperture

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Sputtering alloy films using a crescent-shaped aperture 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-014/34
출원번호	US-0692293 (2000-10-19)
발명자 / 주소	Robert O. Pichulo Gregory Keller Rasmussen Mark Ray McClanahan
출원인 / 주소	Delphi Technologies, Inc.
대리인 / 주소	John A. VanOphem
인용정보	피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 7

초록

A method and system for producing thin film alloy by a sputtering deposition process comprising using a crescent-shaped aperture interposed between the target and substrate of a sputtering deposition system.

대표청구항 ▼

1. A system for forming a thin film deposit of an alloy on a substrate by using a sputtering deposition process comprising:a deposition chamber having a vacuum enclosure; a means for evacuating the vacuum enclosure; a magnetron cathode; a target mounted on the magnetron cathode and having a surface facing into the interior of the vacuum enclosure; and, a substrate positioned within the vacuum enclosure opposite the surface; wherein a crescent-shaped aperture is interposed between said target and said substrate, and an oscillating relationship is established between said substrate and said aperture.

이 특허에 인용된 특허 (7)

AbuJudom ; II David N. (Brookfield WI) Thoma Paul E. (Cedarburg WI) Kao Ming-Yuan (Fox Point WI) Angst David R. (West Allis WI), High transformation temperature shape memory alloy.
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Ichihara Katsutaro,JPX ; Tateyama Kohichi,JPX ; Sakai Ryo,JPX ; Ishigami Takashi,JPX, Magnetron sputtering method and sputtering target.
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Woodward Danny L. (Huntsville AL) Thrasher Chester (Elora TN), Mask and method for making gradient sputtered coatings.
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Fujino Takuo (Akishima JPX), Method of manufacturing shaped body having straight stripes.
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Peterseim Jrgen (Dsseldorf DEX) Schlump Wolfgang (Essen DEX), Shape memory alloy.
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Busch John D. (Berkeley CA) Johnson Alfred D. (Berkeley CA), Shape-memory alloy micro-actuator.
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Chatterjee Dilip K. (Rochester NY) Rao Srinivas T. (Los Gatos CA), Sputtering targets for magneto-optic films and a method for making.
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이 특허를 인용한 특허 (9)

Elzey,Dana M.; Wadley,Haydn N. G., Active energy absorbing cellular metals and method of manufacturing and using the same.
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Marton, Denes; Boyle, Christopher T.; Wiseman, Roger W.; Banas, Christopher E., High strength vacuum deposited nitinol alloy films and method of making same.
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Marton,Denes; Boyle,Christopher T.; Wiseman,Roger W.; Banas,Christopher E., High strength vacuum deposited nitinol alloy films and method of making same.
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Wadley, Haydn N. G.; Queheillalt, Douglas T.; Haj-Hariri, Hossein; Evans, Anthony G.; Peterson, George P.; Kurtz, Robert; Long, G. Douglas; Murty, Yellapu V., Method and apparatus for jet blast deflection.
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Druz, Boris; Kanarov, Viktor; Hegde, Hariharakeshave S.; Hayes, Alan V.; Lakios, Emmanuel, Method and apparatus for surface processing of a substrate.
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Druz, Boris; Fremgen, Jr., Roger P.; Hayes, Alan V.; Kanarov, Viktor; Krause, Robert; Reiss, Ira; Sferlazzo, Piero, Method and apparatus for surface processing of a substrate using an energetic particle beam.
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Chang, Shih-Chia; Harrington, Marie I.; Eddy, David Sturge; Putty, Michael W.; Kempisty, Jeffrey M, Microactuator having a ferromagnetic substrate.
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Elzey, Dana M.; Wadley, Haydn N. G., Reversible shape memory multifunctional structural designs and method of using and making the same.
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Murata, Shinji, Semiconductor device contact resistant to deterioration due to heat and method for manufacturing contact.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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