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특허 상세정보

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Diode isolated thin film fuel cell array addressing method

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) H01L-021/82    H01L-021/00    H03K-017/00   
미국특허분류(USC) 438/132; 327/365; 438/800
출원번호 US-0660135 (2000-09-12)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Derrick Michael Reid
인용정보 피인용 횟수 : 27  인용 특허 : 1
초록
▼

The method addresses and interrogates addressable cells having at least one element including a polysilicon resistor functioning as a heating element and blocking diode preventing sneak current to un addressed elements, for selectively addressing one of the cells using row and column address line in a thin film structure having a minimum number of address lines and a minimum number of layers. The resistor heating element can be used for igniting a respective fuel cell in an array of fuel cells disposed in a thin film microthruster. After ignition, the ad...

대표
청구항
▼

1. A method of addressing a cell having an element comprising a resistor and a diode in a polysilicon layer and a fuel cell of combustible fuel, the resistor being connected to a first addressing line and the diode being connected to a second addressing line, the method comprising the steps of,applying an addressing voltage across the first and second addressing lines, applying an addressing current between the first and second addressing lines, the addressing current conducting through the resistor and the diode being forward biased, the cell being addr...

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. Hackleman David E. (Monmouth OR). Thermal-ink heater array using rectifying material. USP1995055414245.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 27

  1. Donald C. Mayer ; Jon V. Osborn ; Siegfried W. Janson ; Peter D. Fuqua. Addressable diode isolated thin film cell array. USP2002116483368.
  2. Gaff, Keith William; Singh, Harmeet; Comendant, Keith; Vahedi, Vahid. Adjusting substrate temperature to improve CD uniformity. USP20180810056225.
  3. Gaff, Keith William; Singh, Harmeet; Comendant, Keith; Vahedi, Vahid. Adjusting substrate temperature to improve CD uniformity. USP2014028642480.
  4. Uhland, Scott A.; Polito, Benjamin F.; Maloney, John M.; Sheppard, Jr., Norman F.; Herman, Stephen J.; Yomtov, Barry M.. Containment device with multi-layer reservoir cap structure. USP2012078211092.
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  6. Uhland,Scott A.; Polito,Benjamin F.; Maloney,John M.; Sheppard, Jr.,Norman F.; Herman,Stephen J.; Yomtov,Barry Y.. Controlled release device and method using electrothermal ablation. USP2009037510551.
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  23. Salman, Saed; Grudin, Oleg; Landsberger, Leslie M.; Frolov, Gennadiy; Tsang, Tommy; Huang, Zhen-grong. Passive resistive-heater addressing network. USP2014128907718.
  24. Gaff, Keith William; Anderson, Tom; Comendant, Keith; Lu, Ralph Jan-Pin; Robertson, Paul; Pape, Eric A.; Benjamin, Neil. Power switching system for ESC with array of thermal control elements. USP20180810049948.
  25. Singh, Harmeet; Gaff, Keith; Benjamin, Neil; Comendant, Keith. Substrate supports with multi-layer structure including independent operated heater zones. USP20190310236193.
  26. Pease, John. System and method for monitoring temperatures of and controlling multiplexed heater array. USP2017079713200.
  27. Pease, John. System and method for monitoring temperatures of and controlling multiplexed heater array. USP2016049307578.

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