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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0711192 (2000-11-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 12 인용 특허 : 10 |
A structure and method are present where a sidewall of a load lock chamber is formed by extrusion, to produce a reproducible tubular structure to form the walls of a vacuum chamber with greatly improved vacuum performance. The use of an extruded structure reduces the dimensional variability, increas
1. A method of producing a vacuum containment vessel comprising the steps of:extruding a tubular body element, the tubular body element encircling a central space, said tubular body element having a body side and a first open end and a second open end; providing sealable openings in the side of the
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