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[미국특허] Dual pendulum valve assembly with valve seat cover 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F16K-003/06
출원번호 US-0612812 (2000-07-10)
발명자 / 주소
  • Joseph Ashurst Maher, Jr.
출원인 / 주소
  • MKS Instruments, Inc.
대리인 / 주소
    McDermott, Will & Emery
인용정보 피인용 횟수 : 22  인용 특허 : 25

초록 ▼

A dual pendulum valve assembly for connecting a process chamber and a vacuum pump of a semiconductor manufacturing system. The valve assembly includes an isolation valve for sealing an opening to the pump during cleaning of the system and an annular cover for protecting a valve seat of the opening t

대표청구항 ▼

1. A valve assembly comprising:a) a housing including an interior space and a pair of openings through which fluid can enter and exit the interior space; b) a first valve body movable within the interior space between an opened position allowing fluid to pass through a first of the openings and a cl

이 특허에 인용된 특허 (25) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Ehmig Gerhard (Feldkirch-Tosters ATX) Vogt Karl (Buchs CHX), All-metal lift valve for high-vacuum applications.
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  2. Marugg Leo,CHX, Control apparatus for controlling gas flow in a molecular region.
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  3. Pankov Ivan (Willowbrook IL), Double-seal flexible gate valve.
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  4. Almada Edward M. (7537 Linden St. Hammond IN 46324), Gate valves with seat protectors.
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  5. Boeckman Paul A. (Glenpool OK) Young Dennis L. (Tulsa OK), High pressure cam seal valve.
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  6. Wheeler William R. (Saratoga CA), High vacuum gate valve.
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  7. Wheeler William R. (Saratoga CA), High vacuum gate valve.
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  8. Iwasaki Atsushi (Takefu JPX) Mizuishi Koji (Annaka JPX) Oda Michiaki (Annaka JPX), Isolation valve used in a single crystal pulling apparatus.
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  9. Schertler Siegfried (Haag CHX), Metallic sealing device for a high-vacuum closure.
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  10. Hoffmann Otto-Horst (Rodenbach DEX) Heil Walter (Neuberg DEX) Stark Friedrich (Langenselbold DEX), Operating mechanism for valves, gates and the like.
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  11. Anderle ; Fritz ; Frey ; Gerhard ; Grein ; Lutz ; Reimpell ; Uwe ; Stark ; Friedrich, Oscillating slide valve.
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  12. Olmsted Richard W., Pendulum valve assembly.
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  13. Bsch Hubert (Lustenau ATX), Pipe valve assembly with metal valve slide for high vacuum installations.
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  14. Smith Daniel E. (New Hampton NH), Pivotal diaphragm, flow control valve.
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  15. Thorn Walter (Friedrichshafen DEX), Pivotal slide valve.
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  16. Dern Charles D. (Feasterville PA) Ho David L. (Hatboro PA), Rotary disk valve.
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  17. Erwin ; Robert L., Rotary plug valve.
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  18. Bsch Hubert (Lustenau ATX), Sealing device for a high-vacuum closure.
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  19. Geiser Friedrich (Nziders ATX), Shut-off valves for pipelines.
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  20. Brida Hubert (Gotzis ATX), Slide valve.
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  21. Schertler Siegfried (Haag CH), Sliding device for the gas-tight and air-tight closure of a container opening or of a conduit.
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  22. Erwin ; deceased Robert L. (Farmington NM by Josiephine Reed Erwin ; Personal Representative), Tapered rotary plug valve.
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  23. Davis ; Jr. James C. (Carlisle MA), Valve.
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  24. Ehmig ; Gerhard, Valve arrangement for a vacuum line.
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  25. Geiser Friedrich (Nziders ATX), Valve slide.
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이 특허를 인용한 특허 (22) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Blanchard, Stephane Pierre Guillaume; Dakowski, Mathieu; Daris, Thomas; Lunel, Romain Nicolas, Cooling air bleed device in a turbine engine.
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  2. Blanchard, Stephane Pierre Guillaume; Dakowski, Mathieu; Daris, Thomas; Lunel, Romain Nicolas, Cooling air bleed device in a turbomachine.
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  3. Blanchard, Stephane Pierre Guillaume; Dakowski, Mathieu; Daris, Thomas; Lunel, Romain Nicolas, Device for tapping cooling air in a turbomachine.
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  4. Ohmi,Tadahiro; Ikeda,Nobukazu; Yamaji,Michio; Kitano,Masafumi; Morimoto,Akihiro, Diaphragm valve for the vacuum exhaustion system.
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  5. Huang, Shu-Mei, Double sealing valve.
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  6. Hiroki,Tsutomu, Gate valve apparatus for vacuum processing system.
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  7. Blanchard, Stéphane Pierre Guillaume; Daris, Thomas, Gate valve for a system for circulating cooling air through a turbomachine.
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  8. Sin, Pheng, Multi-vane throttle valve.
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  9. Brenes,Arthur J., Pendulum gate valve.
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  10. Lucas, Paul D., Pendulum valve assembly.
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  11. Coleman, Nate; Slaney, John; Mallory, Sean; Cederstav, Per; Kruse, David; Ballard, William; Woods, Robert, Pendulum valve having independently and rapidly controllable theta-and z-axis motion.
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  12. Abatchev, Mirzafer; Rusu, Camelia; McMillin, Brian, Pressure control valve assembly of plasma processing chamber and rapid alternating process.
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  13. Lucas, Paul D., Seal ring for pendulum valve assembly.
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  14. Blahnik,Jeff; Kraus,Joe; Rice,Mike, Single-sided inflatable vertical slit valve.
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  15. Taguchi, Tatsuhiro; Kogame, Masahito, Slide valve.
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  16. Geiser,Friedrich, Vacuum valve.
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  17. Nozawa, Toshihisa, Valve and processing apparatus provided with the same.
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  18. Lucas,Paul D.; Pisera,Jaroslaw W., Valve assembly having improved pump-down performance.
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  19. Lucas,Paul D.; Carbone,Anthony J., Valve assembly having novel flow characteristics.
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  20. Ohmi, Tadahiro; Ikeda, Nobukazu; Yamaji, Michio; Kitano, Masafumi; Morimoto, Akihiro, Valve for vacuum exhaustion system.
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  21. Ohmi,Tadahiro; Ikeda,Nobukazu; Yamaji,Michio; Kitano,Masafumi; Morimoto,Akihiro, Valve for vacuum exhaustion system.
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  22. Kane, Dale Robert; Minowa, Norihisa; Takahashi, Kohtaro, Valve seal assembly.
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