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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) | F16L-051/00 |
미국특허분류(USC) | 285/298; 285/187; 285/224 |
출원번호 | US-0637948 (2000-08-11) |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 | |
대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 7 인용 특허 : 5 |
A deformable fluid supply line for use on a semiconductor fabrication machine is described which includes a generally S-shaped expandable joint connecting between two straight conduit sections for providing full communication thereinbetween and for providing stress absorbing characteristics such that the expandable joint can be stretched or otherwise deformed by at least 2 cm without breaking connections with the two straight conduit sections. When the generally S-shaped expandable joint is provided with a length of at least 10 cm, a deformation of at le...
1. A deformable fluid supply line for a semiconductor fabrication machine comprising:a first rigid conduit having a first open end and an opposing second open end, said first open end being in fluid communication with a fluid reservoir; a second rigid conduit having a third open end and an opposing fourth open end, said fourth open end being in fluid communication with said semiconductor fabrication machine; and a generally S-shaped expandable joint for connecting and providing fluid communication between said second open end of said first rigid conduit ...