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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0508451 (2000-03-09) |
우선권정보 | DE-2017079 (1997-09-24) |
국제출원번호 | PCT/EP98/05611 (1998-09-04) |
§371/§102 date | 20000309 (20000309) |
국제공개번호 | WO99/15793 (1999-04-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 3 |
The invention relates to a friction vacuum pump (1) containing at least one turbomolecular pump stage (6, 7), a screw pump stage (11, 12) connected to the delivery side of the pump, and a filling stage (24) arranged between the turbomolecular pump stage (6, 7) and the screw pump stage (11, 12). Acco
1. A compound vacuum pump assembly that includes:a turbomolecular pump stage having an inlet for delivering a fluid into the pump assembly and an outlet section, a centrifugal pump stage; and a screw pump stage having an inlet and an outlet for discharging fluid from the assembly; said stages being
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