[특허]Apparatus and insertless method for forming cavity substrates using coated membrane

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Apparatus and insertless method for forming cavity substrates using coated membrane 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B32B-031/20
출원번호	US-0668291 (1996-06-21)
발명자 / 주소	Jon A. Casey Govindarajan Natarajan Robert W. Pasco Vincent P. Peterson
출원인 / 주소	International Business Machines Corporation
대리인 / 주소	Ira David Blecker
인용정보	피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 7

초록 ▼

The present invention relates generally to a new apparatus and method for forming cavities in semiconductor substrates without the necessity of using an insert. More particularly, the invention encompasses an apparatus and a method for fabricating cavities in semiconductor substrates wherein a coated membrane sheet is placed over the cavity prior to lamination and caused to conform to the contour of the cavity, thus preventing collapse of, or damage to, the cavity shelves during the lamination process. After the lamination process, the coated membrane is conveniently removed without causing damage to the cavity shelves or paste pull-outs.

대표청구항 ▼

1. A method of forming a ceramic substrate having at least one cavity, the method comprising the steps of:a) placing at least one ceramic greensheet having at least one cavity over a first plate; b) placing a planar coated membrane sheet over said cavity, wherein said coated membrane sheet has an elongation of greater than 350% at room temperature and a modulus of less than 1 Gpa. and wherein said coated membrane sheet is selected from the group consisting of silicone-coated silicone rubber, silicone-coated polyurethane, silicone-coated polyethylene and silicone-coated copolymers of polyethylene and a second polyolefin; c) conforming said coated membrane sheet to said cavity; d) applying pressure to at least the coated membrane sheet and the at least one ceramic greensheet, said coated membrane sheet preventing the collapse of said cavity during this step of applying pressure.

이 특허에 인용된 특허 (7)

Norell Ronald A. (Carlsbad CA), Elastic bladder method of fabricating an integrated circuit package having bonding pads in a stepped cavity.
상세보기
Johnstone Robert H. (Green Bay WI), Intelligent foil transfer.
상세보기
Thein Joe K. (Torrance CA) Mejia Mauricio A. (Los Angeles CA), Method and apparatus for shaping, forming, consolidating and co-consolidating thermoplastic or thermosetting composite p.
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Natarajan Govindarajan (Pleasant Valley NY) Bezama Raschid J. (Mahopac NY) Knickerbocker John U. (Hopewell Junction NY), Method for forming cavities without using an insert.
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Bloechle Donald P. (Rockaway NJ) Kalliat Mohanan P. (Richmond VA) Mazeika William A. (Mechanicsville VA), Method of fabricating multilayer structures with nonplanar surfaces.
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Gauci John P. (Putnam Valley NY) Kline Thomas A. (Wappingers Falls NY), Process for forming open-centered multilayer ceramic substrates.
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McNeal Norman E. (Carlsbad CA) Nagy Richard A. (Leucadia CA), Thermoplastic plug method of fabricating an integrated circuit package having bonding pads in a stepped cavity.
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이 특허를 인용한 특허 (2)

Kim, Won-Mook, Method of manufacturing multilayer ceramic substrates.
상세보기
Berry,Cynthia W.; Bailey,Alex E.; Gupta,Tapan K., Method of producing an LTCC substrate with cavities having improved bondability.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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