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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0691805 (2000-10-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 21 인용 특허 : 6 |
The present invention is directed to an apparatus and method for flow regulation of planarization fluids to a semiconductor wafer planarization machine. In one embodiment, the regulating system includes a fluid storage tank with an acoustic fluid level sensor. The storage tank is connected to a flui
1. A system for regulating the flow of a planarization fluid, comprising:a fluid supply dispenser adapted to contain the planarization fluid; a fluid regulating device adapted to receive an input stream of the planarization fluid from the fluid supply dispenser and to release an output stream of the
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