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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0211876 (1998-12-15) |
우선권정보 | JP-0361014 (1997-12-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 18 인용 특허 : 12 |
An apparatus for separating a substrate having a porous layer at the porous layer is provided. A bonded substrate stack (101) having a porous layer (101b) is supported by substrate holding portions (108, 109) while being rotated. High-speed, high-pressure water (jet) is ejected from a nozzle (112) a
1. A separating apparatus for separating an object comprising:jet means having a fluid jet unit for ejecting a jet of fluid to the object to be separated to separate the object; control means for changing a condition for ejecting the fluid from the jet unit in accordance with progress of object sepa
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