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특허 상세정보

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Molded non-abrasive substrate carrier for use in polishing operations

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B24B-047/02   
미국특허분류(USC) 451/398; 451/397; 451/400; 264/0403; 264/085; 264/572; 264/130; 264/149; 264/170
출원번호 US-0397580 (1999-09-16)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Patterson, Thuente, Skaar & Christensen, P.A.
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 10
초록
▼

Thin, planar substrates are carried on a substrate carrier (20) through a polishing operation. The substrate carrier (20) is injection molded or modified-injection molded from a plastic material, and includes one or more receptacles for receiving the substrates to be carried through the polishing process. A drive force transmission arrangement is also included in the substrate carrier (20) through which the carrier may be driven in the polishing process. The substrate carrier (20) is relatively non-abrasive and composed of melt processable engineering po...

대표
청구항

1. A carrier for transporting thin, planar objects through a polishing operation, the carrier being prepared by a process comprising the steps of:(a) forcing a plastic material into a mold while maintaining the mold in at least one partially open position; (b) maintaining the plastic material at a substantially constant velocity throughout the volume of the mold as the plastic material is forced into the mold; and (c) closing the mold to a fully closed position after the step of injecting the plastic material into the mold has been initiated.

이 특허에 인용된 특허 (10)

  1. Onodera Masami (Niigata JPX). Apparatus for polishing hard disk substrates. USP1992085140774.
  2. Bulgrin Thomas C.. Auto-tuned, adaptive process controlled, injection molding machine. USP1999125997778.
  3. Klievoneit Harold R. (Mesa AZ) Esposito Augustine G. (Phoenix AZ). Cassette for loading discs in a grinding/polishing apparatus. USP1986064593496.
  4. Allen Ronald (San Jose CA) Nguyen Sum H. (San Jose CA) Ng Kan F. (Orinda CA). Floating pocket memory disk carrier, memory disk and method. USP1993095244555.
  5. Shah Suresh D. (Troy MI) Visconti Carl H. (Clarkston MI). Gas-assisted plastics injection molding with controlled melt flow and method of controlling melt flow. USP1996095558824.
  6. Bulgrin Thomas C. ; Richards Thomas H. ; Eterovich George L.. Hybrid injection molding machine. USP2000076089849.
  7. Dressen Larry G. (Waconia MN). Low profile disk carrier. USP1994095348151.
  8. Wagner Jennifer R. ; Wagner Moritz P. ; Alvarez Jorge A. ; Irving David C.. Method for making a magnetic roll. USP1998085795532.
  9. Nakajima Masayuki (Fujisawa JPX). Method of injection blow molding synthetic resin bellows product. USP1993085236656.
  10. Popovich Dragan ; Lombardi John Lang ; Albrecht Edward Daniel ; Mulligan Anthony Christopher ; Artz Gregory John. Polymer carrier gears for polishing of flat objects. USP1999035882245.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 7

  1. Geltinger, Florian; Deyerl, Heinrich; Hoellriegl, Thomas; Philipp, Thomas; Schuster, Gerhard; Blochmann, Erik; Lindner, Maria. Double cavity form carrier. USP201512D745904.
  2. Yasuda, Taichi; Enomoto, Tatsuo. Manufacturing method of carrier for double-side polishing apparatus, carrier for double-side polishing apparatus, and double-side polishing method of wafer. USP2015069050698.
  3. Hachtmann,Bruce. Memory disk shipping container with improved contaminant control. USP2007027175026.
  4. Ensinger, Wilfried. Retaining ring for holding semiconductor wafers in a chemical mechanical polishing apparatus. USP2005076913669.
  5. Ensinger, Wilfried. Retaining ring for holding semiconductor wafers in a chemical mechanical polishing apparatus. USP2004116824458.
  6. Thirunavukarasu, Sriskantharajah; Zhu, Mingwei; Elumalai, Karthik; Tan, Thean Ming; Cao, Yong; Diehl, Daniel Lee; Patibandla, Nag. Reusable substrate carrier. USP2016109478697.
  7. Ensinger,Wilfried. Spacer profile for an insulated glazing unit. USP2008117449224.

IPC 상위 출원인