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[미국특허] Fluid distribution system and process, and semiconductor fabrication facility utilizing same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F17C-011/00
출원번호 US-0624478 (2000-07-24)
발명자 / 주소
  • Luping Wang
  • Terry A. Tabler
  • James A. Dietz
출원인 / 주소
  • Advanced Technology Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Steven J. Hultquist
인용정보 피인용 횟수 : 42  인용 특허 : 7

초록 ▼

A fluid distribution system for supplying a gas to a process facility such as a semiconductor manufacturing plant. The system includes a main fluid supply vessel coupled by flow circuitry to a local sorbent-containing supply vessel from which fluid, e.g., low pressure compressed gas, is dispensed to

대표청구항 ▼

1. A fluid supply system for supplying fluid to a point-of-use fluid-consuming unit, said system comprising:a main fluid supply vessel; a local supply vessel, containing a physical sorbent having affinity for said fluid; first flow circuitry interconnecting the main fluid supply vessel and the local

이 특허에 인용된 특허 (7) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Tom Glenn M. ; McManus James V. ; Olander W. Karl, Fluid storage and delivery system comprising high work capacity physical sorbent.
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  2. Tom Glenn M. ; McManus James V. ; Olander W. Karl, Fluid storage and delivery system utilizing carbon sorbent medium.
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  3. Wang Luping ; Tom Glenn M., Fluid storage and dispensing system.
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  4. Tom Glenn M., High capacity gas storage and dispensing system.
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  5. Tom Glenn M. ; McManus James V., Process system with integrated gas storage and delivery unit.
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  6. Tom Glenn M. (New Milford CT) McManus James V. (Danbury CT), Storage and delivery system for gaseous hydride, halide, and organometallic group V compounds.
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  7. Dietz James ; McManus James V., Throughflow gas storage and dispensing system.
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이 특허를 인용한 특허 (42) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Wang, Luping; Neugold, Doug, Adsorbents for low vapor pressure fluid storage and delivery.
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  2. Wang,Luping; Neugold,Doug, Adsorbents for low vapor pressure fluid storage and delivery.
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  3. Arno, Jose; Sturm, Edward; Wang, Luping; Dietz, James, Apparatus and method for inhibiting decomposition of germane.
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  4. Homan, Jeffrey J.; Arno, Jose I.; Sweeney, Joseph D., Apparatus and process for integrated gas blending.
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  5. Wilson, Shaun M.; Sturm, Edward A.; Wodjenski, Michael J.; Carruthers, J. Donald; Sweeney, Joshua B., Carbon adsorbent for hydrogen sulfide removal from gases containing same, and regeneration of adsorbent.
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  6. Yates,Donald L, Compositions for dissolution of low-k dielectric film, and methods of use.
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  7. Yates, Donald L, Compositions for dissolution of low-k dielectric films, and methods of use.
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  8. Yates, Donald L, Compositions for dissolution of low-k dielectric films, and methods of use.
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  9. Yates,Donald L, Compositions for dissolution of low-k dielectric films, and methods of use.
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  10. Yates,Donald L, Compositions for dissolution of low-k dielectric films, and methods of use.
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  11. Yates, Donald L., Compositions for use in semiconductor devices.
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  12. Yates, Donald L., Compositions for use in semiconductor devices.
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  13. Dietz, James; Bishop, Steven E.; McManus, James V.; Lurcott, Steven M.; Wodjenski, Michael J.; Kaim, Robert; DiMeo, Jr., Frank, Fluid storage and dispensing system including dynamic fluid monitoring of fluid storage and dispensing vessel.
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  14. Dietz, James; Bishop, Steven E.; McManus, James V.; Lurcott, Steven M.; Wodjenski, Michael J.; Kaim, Robert; Dimeo, Jr., Frank, Fluid storage and dispensing system including dynamic fluid monitoring of fluid storage and dispensing vessel.
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  15. Dietz, James; Bishop, Steven E.; McManus, James V.; Lurcott, Steven M.; Wodjenski, Michael J.; Kaim, Robert; Dimeo, Jr., Frank, Fluid storage and dispensing system including dynamic fluid monitoring of fluid storage and dispensing vessel.
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  16. McManus, James V.; Dietz, James; Lurcott, Steven M., Fluid storage and dispensing system including dynamic fluid monitoring of fluid storage and dispensing vessel.
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  17. Olander,W. Karl, Gas storage and dispensing system for variable conductance dispensing of gas at constant flow rate.
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  18. Olander,W. Karl, Gas storage and dispensing system for variable conductance dispensing of gas at constant flow rate.
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  19. Carruthers, J. Donald, Gas storage and dispensing system with monolithic carbon adsorbent.
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  20. Carruthers, J. Donald, Gas storage and dispensing system with monolithic carbon adsorbent.
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  21. Carruthers, J. Donald, Gas storage and dispensing system with monolithic carbon adsorbent.
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  22. Carruthers, J. Donald, Gas storage and dispensing system with monolithic carbon adsorbent.
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  23. Carruthers,J. Donald, Gas storage and dispensing system with monolithic carbon adsorbent.
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  24. Carruthers,J. Donald, Gas storage and dispensing system with monolithic carbon adsorbent.
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  25. Yamagata, Masahiro; Oshiba, Hisanori; Sakashita, Yoshihiko; Inoue, Yoichi; Muraoka, Yusuke; Saito, Kimitsugu; Mizobata, Ikuo; Kitakado, Ryuji, High pressure processing apparatus.
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  26. Arno,Jose I.; Dietz,James A., In-situ gas blending and dilution system for delivery of dilute gas at a predetermined concentration.
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  27. Kelekar, Rajesh; Verma, Gaurav; Weiner, Kurt, Maintaining flow rate of a fluid.
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  28. McConnell, Rachel Dianne; Hurst, Ann Marie; Shi, Xiaobo, Method for chemical mechanical planarization of a tungsten-containing substrate.
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  29. Wilson, Shaun M.; Sturm, Edward A., PVDF pyrolyzate adsorbent and gas storage and dispensing system utilizing same.
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  30. Wilson, Shaun M.; Sturm, Edward A., PVDF pyrolyzate adsorbent and gas storage and dispensing system utilizing same.
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  31. Wilson, Shaun M.; Sturm, Edward A., PVDF pyrolyzate adsorbent and gas storage and dispensing system utilizing same.
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  32. Arno, Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
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  33. Arno, Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
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  34. Arno,Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
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  35. Brestovansky,Dennis; Wodjenski,Michael J.; Arno,Jose I.; Carruthers,J. Donald; Moroco, legal representative,Judith A.; Moroco,Philip A., Rectangular parallelepiped fluid storage and dispending vessel.
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  36. Brestovansky, Dennis; Wodjenski, Michael J.; Arno, Jose I.; Carruthers, J. Donald; Moroco, Philip A., Rectangular parallelepiped fluid storage and dispensing vessel.
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  37. Brestovansky, Dennis; Wodjenski, Michael J.; Arno, Jose I.; Carruthers, J. Donald; Moroco, Philip A., Rectangular parallelepiped fluid storage and dispensing vessel.
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  38. Brestovansky, Dennis; Wodjenski, Michael J.; Arno, Jose I.; Carruthers, J. Donald; Moroco, Phillip A., Rectangular parallelepiped fluid storage and dispensing vessel.
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  39. Brestovansky, Dennis; Wodjenski, Michael J.; Arno, Jose I.; Carruthers, J. Donald; Moroco, Phillip A.; Moroco, legal representative, Judith A., Rectangular parallelepiped fluid storage and dispensing vessel.
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  40. Brestovansky,Dennis; Moroco,Philip A., Rectangular parallelepiped fluid storage and dispensing vessel.
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  41. Brestovansky,Dennis; Wodjenski,Michael J.; Arno,Jose I.; Carruthers,J. Donald, Rectangular parallelepiped fluid storage and dispensing vessel.
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  42. Tiu, Kong Bee; Foong, Chee Seng; Lo, Wai Yew, Semiconductor package with lead mounted power bar.
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