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[미국특허] Cantilevered multilevel LIGA devices and methods 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C25D-005/02
출원번호 US-0677041 (2000-09-29)
발명자 / 주소
  • Alfredo Martin Morales
  • Linda A. Domeier
출원인 / 주소
  • Sandia National Laboratories
대리인 / 주소
    Reed & Associates
인용정보 피인용 횟수 : 20  인용 특허 : 5

초록 ▼

In the formation of multilevel LIGA microstructures, a preformed sheet of photoresist material, such as polymethylmethacrylate (PMMA) is patterned by exposure through a mask to radiation, such as X-rays, and developed using a developer to remove the exposed photoresist material. A first microstructu

대표청구항 ▼

1. A method of forming a multi-layered LIGA microstructure on a plating base comprising the steps of:(a) providing a first level microstructure having raised conductive portions; (b) covering and surrounding the first level microstructure with a conductive polymer layer; (c) machining the conductive

이 특허에 인용된 특허 (5) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Guckel Henry (Madison WI), Formation of microstructures by multiple level deep X-ray lithography with sacrificial metal layers.
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  2. Guckel Henry (Madison WI) Christenson Todd R. (Madison WI) Skrobis Kenneth (Madison WI), Formation of microstructures using a preformed photoresist sheet.
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  3. Guckel Henry (Madison WI) Christenson Todd R. (Madison WI) Skrobis Kenneth (Madison WI), Formation of microstructures using a preformed photoresist sheet.
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  4. Guckel Henry ; Mangat Pawitterjit S., Lapping and polishing method and apparatus for planarizing photoresist and metal microstructure layers.
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  5. Ehrfeld Wolfgang (Karlsruhe DEX) Hagmann Peter (Eggenstein-Leopoldshafen DEX) Maner Asim (Stutensee DEX) Mnchmeyer Dietrich (Stutensee DEX) Becker Erwin (Karlsruhe DEX), Method for producing a plurality of plate shaped microstructured metal bodies.
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이 특허를 인용한 특허 (20) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Morales,Alfredo Martin; Domeier,Linda A.; Gonzales,Marcela G.; Keifer,Patrick N.; Garino,Terry Joseph, Compliant cantilevered micromold.
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  2. Appleby,Michael; Fraser,Iain; Atkinson,James E., Devices, methods, and systems involving castings.
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  3. Appleby,Michael; Fraser,Iain; Atkinson,James E., Devices, methods, and systems involving castings.
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  4. Cohen,Adam L.; Smalley,Dennis R.; Lockard,Michael S.; Le,Qui T., Electrochemical fabrication methods including use of surface treatments to reduce overplating and/or planarization during formation of multi-layer three-dimensional structures.
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  5. Cohen,Adam L.; Smalley,Dennis R.; Lockard,Michael S.; Le,Qui T., Electrochemical fabrication methods including use of surface treatments to reduce overplating and/or planarization during formation of multi-layer three-dimensional structures.
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  6. Cohen, Adam L.; Lockard, Michael S.; Kim, Kieun; Le, Qui T.; Zhang, Gang; Frodis, Uri; McPherson, Dale S.; Smalley, Dennis R., Electrochemical fabrication methods incorporating dielectric materials and/or using dielectric substrates.
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  7. Rey-Mermet, Gilles, Heterogeneous LIGA method.
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  8. Lee, Hong Hie; Kim, Youn Sang; Kim, Tae Wan; Yoo, Pil Jin, Method for forming a mask pattern.
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  9. Zhang, Gang; Cohen, Adam L.; Lockard, Michael S.; Kumar, Ananda H.; Kruglick, Ezekiel J. J.; Kim, Kieun, Method of electrochemically fabricating multilayer structures having improved interlayer adhesion.
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  10. Fussinger, Alexandre; Stranczl, Marc, Method of fabricating a single-piece micromechanical component including at least two distinct functional levels.
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  11. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Atkinson, James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  12. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Atkinson, James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  13. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Atkinson, James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  14. Appleby,Michael P.; Fraser,Iain; Atkinson,James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  15. Lebby, Michael, Multi-fiber/port hermetic capsule sealed by metallization and method.
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  16. Jerominek, Hubert; Topart, Patrice, Process for making microdevice with movable microplatform.
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  17. Appleby, Michael P.; Randolph, William T.; Klinger, Jill E., Systems for large area micro mechanical systems.
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  18. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Paulus, John, Systems, devices, and/or methods for manufacturing castings.
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  19. Appleby, Michael; Fraser, Iain; Paulus, John, Systems, devices, and/or methods for manufacturing castings.
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  20. Appleby, Michael; Paulus, John; Fraser, Iain; Klinger, Jill; Heneveld, Benjamin, Systems, devices, and/or methods for producing holes.
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