$\require{mediawiki-texvc}$
  • 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색도움말
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"

통합검색

도움말도움말
상세검색 다국어 입력

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

특허 상세정보

MyON담기
내보내기 페이스북 공유 카카오톡 공유

Pumping device by non-vaporisable getter and method for using this getter

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) F04B-037/02    F04F-011/00   
미국특허분류(USC) 417/048; 417/053
출원번호 US-0202668 (1998-12-18)
우선권정보 FR-0007625 (1996-06-19)
국제출원번호 PCT/EP97/03180 (1997-06-18)
§371/§102 date 19981218 (19981218)
국제공개번호 WO97/49109 (1997-12-24)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Larson & Taylor PLC
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 7
초록

The invention discloses a pumping device by non-vaporizable getter to create a very high vacuum in a chamber defined by a metal wall capable of releasing gas at its surface, characterized in that it comprises a thin layer of non-vaporizable getter coated on at least almost the whole metal wall surface defining the chamber.

대표
청구항
▼

1. A process for using a non-evaporable getter to create, due to a getter function, a very high vacuum in a chamber defined by a metal wall capable of releasing gas at a surface thereof, said non-evaporable getter being deposited on at least a majority of said chamber wall surface, the process comprising:(a) cleaning the chamber; (b) placing in the chamber a cathode sputtering device capable of coating the chamber; (c) creating .a vacuum in the chamber and dehydrating the chamber; (d) depositing a thin screen coating of a non-evaporable getter by cathode...

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Murphy David R. (Falls Church VA). Accelerator for charged particles. USP1977094050914.
  2. Ikegami Kazunori (Amagasaki JPX). Accelerator vacuum pipe having a layer of a getter material disposed on an inner surface of the pipe. USP1992035101167.
  3. Hill ; Eugene F.. High vacuum pump. USP1978064097195.
  4. Fischmeister Hellmut (Molndal SW) Lampe Vaino (Hagfors SW) Olsson Leif (Goteborg SW). Method and means for the production of bar stock from metal powder. USP1977084038738.
  5. Kato Yumiko (Mesa AZ) Petersen Ronald O. (Phoenix AZ). Method of making an ultra-high vacuum field emission display. USP1997115688708.
  6. Kobari Toshiaki (Ibaraki-ken JPX) Hirano Nobuo (Ibaraki-ken JPX) Matsumoto Manabu (Ibaraki-ken JPX) Katane Mamoru (Hitachi JPX) Sakurabata Hiroaki (Hitachi JPX) Matsuzaki Shiro (Hitachi JPX). Process and apparatus for treating inner surface treatment of chamber and vacuum chamber. USP1997055626682.
  7. Ishii Hiroshi (Tokyo JPX) Arashi Masahiko (Chiba JPX) Ishijima Saburo (Yokohama JPX) Miyaji Kenichi (Chiba JPX) Satomi Yasuhiko (Yokohama JPX). Process for producing a metal vacuum bottle. USP1979064157779.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 6

  1. Longoni, Giorgio; Amiotti, Marco. Air-stable alkali or alkaline-earth metal dispensers. USP20181010109446.
  2. Reich-Sprenger, Hartmut. Getter metal alloy coating and device and method for the production thereof. USP2011017871679.
  3. Bonucci, Antonio; Manini, Paolo; Siviero, Fabrizio; Sonato, Piergiorgio. Getter pumping system. USP2017069685308.
  4. Conte, Andrea; Moraja, Marco. Multilayer getter structures and methods for making same. USP2010067745014.
  5. Conte,Andrea; Moraja,Marco. Multilayer getter structures and methods for making same. USP2008087413814.
  6. Iida, Hidehiro; Inomata, Toru; Fujimara, Mamoru; Miura, Iwao; Ota, Toshihiro. Particle beam accelerator. USP2011027888891.

IPC 상위 출원인