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특허 상세정보

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Linear robot

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) F16C-032/06   
미국특허분류(USC) 384/012; 384/007; 414/935; 414/676
출원번호 US-0624749 (2000-07-24)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Gunnison, McKay & Hodgson, L.L.P.
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 17
초록
▼

A linear robot includes a slide and an end effector arm connected to the slide. The end effector arm includes an end effector. During use, vacuum is selectively supplied to the end effector, with selectively grabs and releases substrates. The slide is supported on a hanger. An air bearing between the slide and the hanger allows the slide and end effector arm including any substrates held by the end effector to freely move along the hanger. The entire periphery of an air bearing surface of the slide is lined by a collector, which is coupled to a vacuum so...

대표
청구항

1. A structure comprising:a slide having a base comprising a first surface, a vacuum coupler trench and a pressurized gas coupler trench being in said first surface; and a hanger comprising a first vacuum channel and a first pressurized gas channel, said first vacuum channel extending to a first aperture aligned with said vacuum coupler trench, said first pressurized gas channel extending to a second aperture aligned with said pressurized gas coupler trench.

이 특허에 인용된 특허 (17)

  1. Stauber, Siegfried T.. Air bearing body. USP1985124558909.
  2. Moore Gary M.. Cluster tool layer thickness measurement apparatus. USP1999025872632.
  3. Furukawa Motomu (Kawasaki JPX). Driving mechanism with gas bearing. USP1993065218896.
  4. Lewis ; Jr. George C. (Sudbury MA) Vanslette Robert A. (Medfield MA). Electron beam lithographic apparatus. USP1984014425508.
  5. Marohl Dan A. ; Ngan Kenny King-Tai. End effector for semiconductor wafer transfer device and method of moving a wafer with an end effector. USP1998055746460.
  6. Sttzel Gilbert (Dsseldorf DEX) Fhrmann Jrg (Weisendorf DEX) Schneider Joachim (Dsseldorf DEX). Hydrostatic bearing assembly. USP1990124978233.
  7. Wytman Joe. Independent linear dual-blade robot and method for transferring wafers. USP1998095810549.
  8. Pollock John D. (Rowley MA). Linear gas bearing with integral vacuum seal for use in serial process ion implantation equipment. USP1988024726689.
  9. Smick Theodore H. ; Ryding Geoffrey ; Farley Marvin. Method and apparatus for controlling a workpiece in a vacuum chamber. USP2000126163033.
  10. Yamazaki Nobuto (Tokyo JPX) Torihata Minoru (Tokyo JPX) Maki Shinji (Tokyo JPX). Non-contact type moving table. USP1996105562396.
  11. Thompson Vern C. (Minneapolis MN). Precision air slide. USP1986084606587.
  12. Matsushita Koichi (Chiba JPX) Suzuki Hiroyuki (Ushiku JPX). Rotary motion driving apparatus. USP1989044822182.
  13. Hattori Hisashi (Tama JPX) Iwata Teruo (Nirasaki JPX) Sekizuka Hiroshi (Oome JPX) Kawauchi Yoichi (Ageo JPX) Fujisawa Hisao (Nakaminato JPX). Sealing device. USP1992075133561.
  14. Yokomatsu Takao (Yokohama JPX) Furukawa Motomu (Kawasaki JPX). Static pressure bearing. USP1988064749283.
  15. Trost David ; Veneklasen Lee. Vacuum compatible linear motion device. USP1998075784925.
  16. Fox ; deceased Wayne L. (5640 Cold Water Dr. late of Castro Valley CA) Fox ; executrix by Rosemary M. (5640 Cold Water Dr. Castro Valley CA 94546). Vacuum-sealed gas-bearing assembly. USP1980034191385.
  17. Forsyth James M. (Macedon NY). X-ray lithography system. USP1990114969169.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 7

  1. Kawai,Tomohiko; Ebihara,Kenzo. Air bearing structure and linear driving device using said air bearing structure. USP2007107275870.
  2. Xia, Fa-Ping. Air guide. USP2012108297842.
  3. Dupont, Ralf. Gas bearing and method of manufacturing the same. USP2014118882353.
  4. Devitt,Andrew J.. Moving vacuum chamber stage with air bearing and differentially pumped grooves. USP2008077394076.
  5. Clare, Joshua Arden. Pneumatic slide assembly for material handling. USP20190210214363.
  6. Iida, Naruaki. Substrate carrying device, substrate carrying method and computer-readable storage medium. USP2012108292549.
  7. Iida, Naruaki. Substrate carrying device, substrate carrying method and computer-readable storage medium. USP2011087993081.

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