$\require{mediawiki-texvc}$
  • 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색도움말
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"

통합검색

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

특허 상세정보

Linear robot

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) F16C-032/06   
미국특허분류(USC) 384/012; 384/007; 414/935; 414/676
출원번호 US-0624749 (2000-07-24)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Gunnison, McKay & Hodgson, L.L.P.
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 17
초록

A linear robot includes a slide and an end effector arm connected to the slide. The end effector arm includes an end effector. During use, vacuum is selectively supplied to the end effector, with selectively grabs and releases substrates. The slide is supported on a hanger. An air bearing between the slide and the hanger allows the slide and end effector arm including any substrates held by the end effector to freely move along the hanger. The entire periphery of an air bearing surface of the slide is lined by a collector, which is coupled to a vacuum so...

대표
청구항

1. A structure comprising:a slide having a base comprising a first surface, a vacuum coupler trench and a pressurized gas coupler trench being in said first surface; and a hanger comprising a first vacuum channel and a first pressurized gas channel, said first vacuum channel extending to a first aperture aligned with said vacuum coupler trench, said first pressurized gas channel extending to a second aperture aligned with said pressurized gas coupler trench.

이 특허에 인용된 특허 (17)

  1. Stauber, Siegfried T.. Air bearing body. USP1985124558909.
  2. Moore Gary M.. Cluster tool layer thickness measurement apparatus. USP1999025872632.
  3. Furukawa Motomu (Kawasaki JPX). Driving mechanism with gas bearing. USP1993065218896.
  4. Lewis ; Jr. George C. (Sudbury MA) Vanslette Robert A. (Medfield MA). Electron beam lithographic apparatus. USP1984014425508.
  5. Marohl Dan A. ; Ngan Kenny King-Tai. End effector for semiconductor wafer transfer device and method of moving a wafer with an end effector. USP1998055746460.
  6. Sttzel Gilbert (Dsseldorf DEX) Fhrmann Jrg (Weisendorf DEX) Schneider Joachim (Dsseldorf DEX). Hydrostatic bearing assembly. USP1990124978233.
  7. Wytman Joe. Independent linear dual-blade robot and method for transferring wafers. USP1998095810549.
  8. Pollock John D. (Rowley MA). Linear gas bearing with integral vacuum seal for use in serial process ion implantation equipment. USP1988024726689.
  9. Smick Theodore H. ; Ryding Geoffrey ; Farley Marvin. Method and apparatus for controlling a workpiece in a vacuum chamber. USP2000126163033.
  10. Yamazaki Nobuto (Tokyo JPX) Torihata Minoru (Tokyo JPX) Maki Shinji (Tokyo JPX). Non-contact type moving table. USP1996105562396.
  11. Thompson Vern C. (Minneapolis MN). Precision air slide. USP1986084606587.
  12. Matsushita Koichi (Chiba JPX) Suzuki Hiroyuki (Ushiku JPX). Rotary motion driving apparatus. USP1989044822182.
  13. Hattori Hisashi (Tama JPX) Iwata Teruo (Nirasaki JPX) Sekizuka Hiroshi (Oome JPX) Kawauchi Yoichi (Ageo JPX) Fujisawa Hisao (Nakaminato JPX). Sealing device. USP1992075133561.
  14. Yokomatsu Takao (Yokohama JPX) Furukawa Motomu (Kawasaki JPX). Static pressure bearing. USP1988064749283.
  15. Trost David ; Veneklasen Lee. Vacuum compatible linear motion device. USP1998075784925.
  16. Fox ; deceased Wayne L. (5640 Cold Water Dr. late of Castro Valley CA) Fox ; executrix by Rosemary M. (5640 Cold Water Dr. Castro Valley CA 94546). Vacuum-sealed gas-bearing assembly. USP1980034191385.
  17. Forsyth James M. (Macedon NY). X-ray lithography system. USP1990114969169.