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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0808814 (2001-03-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 62 인용 특허 : 167 |
A cleaving tool provides pressurized gas to the edge of a substrate in combination with a sharpened edge to cleave the substrate at a selected interface. The edge of the tool is tapped against the perimeter of a substrate, such as a bonded substrate, and a burst of gas pressure is then applied at ap
1. A tool for cleaving a substrate, comprising: a chamber for housing said substrate; a body portion coupled to said chamber, said body portion being configured to align with an edge portion of the substrate; a contacting edge disposed at a first end of said body portion, said contacting edge h
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