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Process and apparatus for liquid delivery into a chemical vapor deposition chamber 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-016/00
출원번호 US-0694682 (2000-10-24)
우선권정보 FR-0014246 (1999-11-08)
발명자 / 주소
  • Brutti, Thierry
  • Pierret, Benoit
  • Guillon, Herve
출원인 / 주소
  • Joint Industrial Processors for Electronics
대리인 / 주소
    Oliff & Berridge, PLC
인용정보 피인용 횟수 : 14  인용 특허 : 9

초록

An apparatus for liquid delivery of a chemical vapour deposition CVD installation comprises an inlet head equipped with at least one injector having an inlet for delivery of liquid precursors or precursors in solution. A vector gas injection circuit is rendered active simultaneously with injection o

대표청구항

An apparatus for liquid delivery of a chemical vapour deposition CVD installation comprises an inlet head equipped with at least one injector having an inlet for delivery of liquid precursors or precursors in solution. A vector gas injection circuit is rendered active simultaneously with injection o

이 특허에 인용된 특허 (9)

  1. Nishikawa Tomohisa,JPX, CVD apparatus for forming thin films using liquid reaction material.
  2. Zhao Jun ; Luo Lee ; Jin Xiaoliang ; Chang Frank ; Dornfest Charles ; Tang Po, Chemical vapor deposition vaporizer.
  3. Matthew R. Witzman ; Richard A. Bradley, Jr. ; Christopher W. Lantman ; Eric R. Cox, Linear aperture deposition apparatus and coating process.
  4. Li Ting Kai ; Scott Dane C., Liquid vaporizer system and method.
  5. Ono Hirofumi (Shiga JPX), Liquid vaporizer/feeder.
  6. Senateur Jean-Pierre,FRX ; Madar Roland,FRX ; Weiss Francois,FRX ; Thomas Olivier,FRX ; Abrutis Adulfas,FRX, Method and device for introducing precursors into chamber for chemical vapor deposition.
  7. Cain Michael B., Method of vaporizing reactants in a packed-bed, column, film evaporator.
  8. McKown Clem (Lake Hopatcong NJ), Multiple, parallel packed column vaporizer.
  9. Olsen Roger A. (Amery WI) Wary John (Noblesville IN) Beach William F. (Bridgewater NJ), Parylene deposition apparatus including a post-pyrolysis filtering chamber and a deposition chamber inlet filter.

이 특허를 인용한 특허 (14)

  1. Yin,Xiang Dong; Neagoe,Gabriel; Cioraca,Dorin; Sun,Andy Kwan Leung, Apparatus for steam sterilization of articles.
  2. Guillon, Herve; Bonnafous, Samuel; Decams, Jean Manuel; Poignant, Frederic, Device for introducing, injecting or spraying a mixture of a carrier gas and liquid compounds and method for implementing said device.
  3. Guillon, Hervé; Bonnafous, Samuel; Decams, Jean Manuel; Poignant, Frédéric, Device for introducing, injecting or spraying a mixture of a carrier gas and liquid compounds and method for implementing said device.
  4. Toda, Masayuki; Kusuhara, Masaki; Umeda, Masaru; Fukagawa, Mitsuru, Evaporation method and film deposition method.
  5. Alcott, Greg, Nanowire growth system having nanoparticles aerosol generator.
  6. Kolb, William B.; Hao, Encai; Kolb, Brant U.; Phillips, David L., Process and apparatus for a nanovoided article.
  7. Kolb, William Blake; Hao, Encai; Kolb, Brant U.; Phillips, David L., Process and apparatus for a nanovoided article.
  8. Coggio, William D.; Huizinga, John S.; Steiner, Michael L.; Watkins, Robert F.; Hao, Encai; Kolb, William B.; Zhu, Peiwang; Free, Michael Benton; Kolb, Brant U.; Chen-Ho, Kui; Humpal, Paul E.; Smith, Kenneth L.; Tapio, Scott M., Retroreflecting optical construction.
  9. Coggio, William D.; Huizinga, John S.; Steiner, Michael L.; Watkins, Robert F.; Hao, Encai; Kolb, William B.; Zhu, Peiwang; Free, Michael Benton; Kolb, Brant U.; Chen-Ho, Kui; Humpal, Paul E.; Tapio, Scott M.; Smith, Kenneth L., Retroreflecting optical construction.
  10. Coggio, William D.; Huizinga, John S; Steiner, Michael L.; Watkins, Robert F.; Hao, Encai; Kolb, William B.; Zhu, Peiwang; Free, Michael Benton; Kolb, Brant U.; Chen-Ho, Kui; Humpal, Paul E.; Tapio, Scott M.; Smith, Kenneth L., Retroreflecting optical construction.
  11. Free, Michael Benton; Mazurek, Mieczyslaw H.; Thakkar, Bimal V.; Smith, Kenneth L.; Patel, Suman K.; Coggio, William D.; Pekurovsky, Mikhail L.; Chiu, Raymond C., Retroreflective articles including optically active areas and optically inactive areas.
  12. Free, Michael Benton; Thakkar, Bimal V.; Mazurek, Mieczyslaw H.; Smith, Kenneth L.; Patel, Suman K.; Coggio, William D.; Pekurovsky, Mikhail L., Retroreflective articles including optically active areas and optically inactive areas.
  13. Smith, Kenneth L.; Free, Michael Benton; Thakkar, Bimal V.; Chiu, Raymond C., Retroreflective articles including optically active areas and optically inactive areas.
  14. Smith, Kenneth L.; Free, Michael Benton; Thakkar, Bimal V.; Chiu, Raymond C., Retroreflective articles including optically active areas and optically inactive areas.
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