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Low cost electroless plating process for single chips and wafer parts and products obtained thereof 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/44
출원번호 US-0841359 (2001-04-24)
발명자 / 주소
  • De Pauw, Herbert
  • Vanfleteren, Jan
  • Zhang, Suixin
출원인 / 주소
  • Interuniversitair Microelektronica Centrum, vzw, Universiteit Gent
대리인 / 주소
    McDonnell Boehnen Hulbert & Berghoff
인용정보 피인용 횟수 : 15  인용 특허 : 4

초록

The present invention is related to a method for electroless plating Nickel/Gold on aluminium bonding pads of single chips or wafer parts. This method result in uniformly plated singulated chips, single dice or wafer parts in a much more simple and cost-effective way. The proposed method comprises t

대표청구항

1. A method for electroless plating individual chips with bond pads, the method comprising the steps of: providing a carrier and an adhesive; attaching the individual chip to a carrier, the step of attaching consisting of contacting the adhesive with at least a portion of the individual chip; an

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Lin Charles Wen Chyang,SGX, Bumpless flip chip assembly with solder via.
  2. Gaynes Michael Anthony ; Pierson Mark Vincent, Method of making components with solder balls.
  3. Akram Salman ; Wood Alan G. ; Farnworth Warren M., Multi chip module with conductive adhesive layer.
  4. Terashima Kazuhiko,JPX, Semiconductor device and method of fabricating the same.

이 특허를 인용한 특허 (15)

  1. Lo,Marvin, Aluminum cap with electroless nickel/immersion gold.
  2. Matsumura, Takeshi; Mizutani, Masaki; Misumi, Sadahito, Dicing die-bonding film.
  3. Matsumura, Takeshi; Mizutani, Masaki; Misumi, Sadahito, Dicing die-bonding film.
  4. Matsumura,Takeshi; Mizutani,Masaki; Misumi,Sadahito, Dicing die-bonding film.
  5. Matsumura,Takeshi; Yamamoto,Masayuki, Dicing die-bonding film.
  6. Matsumura, Takeshi; Mizutani, Masaki; Misumi, Sadahito, Dicing die-bonding film, method of fixing chipped work and semiconductor device.
  7. Matsumura,Takeshi; Mizutani,Masaki; Misumi,Sadahito, Dicing die-bonding film, method of fixing chipped work and semiconductor device.
  8. Matsumura, Takeshi; Mizutani, Masaki, Dicing/die-bonding film, method of fixing chipped work and semiconductor device.
  9. Matsumura, Takeshi; Mizutani, Masaki, Dicing/die-bonding film, method of fixing chipped work and semiconductor device.
  10. Matsumura, Takeshi; Mizutani, Masaki, Dicing/die-bonding film, method of fixing chipped work and semiconductor device.
  11. van Amerom, Friso; Chaudhary, Ashish; Bhansali, Shekhar; Short, Robert T.; Steimle, George, Fabrication of 3-D ion optics assemblies by metallization of non-conductive substrates.
  12. Burrell,Lloyd G.; Davis,Charles R.; Goldblatt,Ronald D.; Landers,William F.; Mehta,Sanjay C., Method of fabricating a wire bond pad with Ni/Au metallization.
  13. Nair, Kumaran Manikantan; Skurski, Michael A.; Voultos, John D., Nickel-gold plateable thick film silver paste.
  14. Zhu, Xu; Ciferno, Raymond A., Ultrathin form factor MEMS microphones and microspeakers.
  15. Kozaka, Yukihiro; Shimoishizaka, Nozomi; Fukuda, Toshiyuki, Wiring board with conductive wirings and protrusion electrodes.
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