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Alignment apparatus 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G06F-019/00
출원번호 US-0137936 (2002-05-02)
우선권정보 JP-0280884 (2000-09-14)
발명자 / 주소
  • Kurata, Shunsuke
출원인 / 주소
  • Olympus Optical Co., Ltd.
대리인 / 주소
    Frishauf, Holtz, Goodman & Chick, P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 20  인용 특허 : 11

초록

An alignment apparatus which obtains an amount of correction for centering a semiconductor wafer from four points of a wafer edge detected by noncontact proprioceptors in a wafer delivery position P1where the semiconductor wafer is passed to a wafer carrying unit from a wafer carrying robot and cent

대표청구항

An alignment apparatus which obtains an amount of correction for centering a semiconductor wafer from four points of a wafer edge detected by noncontact proprioceptors in a wafer delivery position P1where the semiconductor wafer is passed to a wafer carrying unit from a wafer carrying robot and cent

이 특허에 인용된 특허 (11)

  1. Schultz Klaus,DEX ; Beckert Harald,DEX ; Lahne Berndt,DEX ; Heinze Manfred,DEX, Arrangement for handling wafer-shaped objects.
  2. Hassan Javathu K. (Hopewell Junction NY) Mack Alfred (Poughkeepsie NY) Wojtaszek Michael R. (Poughkeepsie NY), Method and apparatus for handling workpieces.
  3. Begin Robert G. (Montecito CA) Clarke Peter J. (Santa Barbara CA), Method for processing semi-conductor wafers in a multiple vacuum and non-vacuum chamber apparatus.
  4. Vowles E. John (Deering NH) Maher Joseph A. (Wenham MA) Napoli Joseph D. (Windham NH), Modular vapor processor system.
  5. Maydan Dan (Los Altos Hills CA) Somekh Sasson (Redwood City CA) Wang David N. (Cupertino CA) Cheng David (San Jose CA) Toshima Masato (San Jose CA) Harari Isaac (Mountain View CA) Hoppe Peter D. (Sun, Multi-chamber integrated process system.
  6. Namiki Minoru (Fuchu JPX) Takahashi Nobuyuki (Fuchu JPX), Multi-chamber integrated process system.
  7. Genov ; deceased Genco, Prealigner and planarity teaching station.
  8. Corey ; George, Rack and pinion wave motor power plant.
  9. Harada Hiroshi (Tokyo JPX) Iwasawa Yoshiyuki (Tokyo JPX) Ishida Tsutomu (Tokyo JPX) Kobayashi Shintaro (Tokyo JPX), Semiconductor processing system.
  10. Crabb Richard (Mesa AZ) Robinson McDonald (Paradise Valley AZ) Hawkins Mark R. (Mesa AZ) Goodwin Dennis L. (Tempe AZ) Ferro Armand P. (Scottsdale AZ), Substrate handling and transporting apparatus.
  11. Whiteman ; Jr. Marvin E. (2254 Braniff St. Boise ID 83706), Unidirectional to bidirectional angular displacement conversion apparatus.

이 특허를 인용한 특허 (20)

  1. Beloussov, Alexandre V.; Baumann, Michael A.; Olsen, Howard B.; Salem, Dana, Configuration management and retrieval system for proton beam therapy system.
  2. Suh,Dongchoon; Hosokawa,Akihiro; Nguyen,Hung The, Method and apparatus for determining a substrate exchange position in a processing system.
  3. Rüth, Edgar; Becker, Wolfgang; Filipovic, Marjan; Rohrmann, Reiner, Method and device for aligning substrates.
  4. De Ridder, Christianus Gerardus Maria; den Hartog, Edwin, Processing system with increased cassette storage capacity.
  5. Lansbergen, Robert Gabriël Maria; Harrold, George Hilary; Johnson, Richard John; Van Der Weijden, Hugo Jacobus Gerardus, Rapid exchange device for lithography reticles.
  6. Lansbergen, Robert Gabriël Maria; Harrold, George Hilary; Johnson, Richard John; Van Der Weijden, Hugo Jacobus Gerardus, Rapid exchange device for lithography reticles.
  7. van der Meulen, Peter; Kiley, Christopher C; Pannese, Patrick D., Semiconductor manufacturing process module.
  8. van der Meulen, Peter; Kiley, Christopher C; Pannese, Patrick D., Semiconductor manufacturing process modules.
  9. van der Meulen, Peter; Kiley, Christopher C; Pannese, Patrick D., Semiconductor manufacturing process modules.
  10. van der Meulen, Peter; Kiley, Christopher C; Pannese, Patrick D., Semiconductor manufacturing process modules.
  11. van der Meulen, Peter; Kiley, Christopher C; Pannese, Patrick D., Semiconductor manufacturing process modules.
  12. van der Meulen, Peter; Kiley, Christopher C; Pannese, Patrick D., Semiconductor manufacturing process modules.
  13. van der Meulen, Peter, Semiconductor manufacturing systems.
  14. van der Meulen, Peter; Kiley, Christopher C; Pannese, Patrick D.; Ritter, Raymond S.; Schaefer, Thomas A., Semiconductor wafer handling and transport.
  15. van der Meulen, Peter; Kiley, Christopher C; Pannese, Patrick D.; Ritter, Raymond S.; Schaefer, Thomas A., Semiconductor wafer handling and transport.
  16. van der Meulen, Peter; Kiley, Christopher C.; Pannese, Patrick D.; Ritter, Raymond S.; Schaefer, Thomas A., Semiconductor wafer handling transport.
  17. Aggarwal, Ravinder; Stoutjesdijk, Jeroen, Substrate handling chamber with movable substrate carrier loading platform.
  18. Hiroki, Tsutomu, Substrate transfer device, substrate processing apparatus and substrate transfer method.
  19. Sha, Lin; Li, Yicheng, Transfer apparatus and method for semiconductor process and semiconductor processing system.
  20. Ho,Chih Chien; Shieh,Jenn Shiang, Wafer positioning systems and methods thereof.
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