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특허 상세정보

Alternative backing up pump for turbomolecular pumps

국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B01D-008/00    F04B-015/08   
미국특허분류(USC) 062/055.5; 417/901
출원번호 US-0941344 (2001-08-29)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 11
초록

As an alternative to the use of a mechanical backing pump in the application of wide range turbomolecular pumps in ultra-high and extra high vacuum applications, palladium oxide is used to convert hydrogen present in the evacuation stream and related volumes to water with the water then being cryo-pumped to a low pressure of below about 1.e-3Torr at 150° K. Cryo-pumping is achieved using a low cost Kleemenco cycle cryocooler, a somewhat more expensive thermoelectric cooler, a Venturi cooler or a similar device to achieve the required minimization of hydr...

대표
청구항

1. A method for obtaining a very low partial pressure of hydrogen in an ultra-high or extreme high vacuum condition in a vacuum system comprising: A) a vacuum chamber connected to a vacuum pumping system comprising: i) a turbomolecular pump connected to; ii) a roughing pump connected to said turbomolecular pump via a first conduit that includes a first cut off valve; and iii) a cryopump connected to said turbomolecular pump via a second conduit that includes a second cut off valve and further including a coating of palladium oxide on at least a si...