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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0941344 (2001-08-29) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 11 |
As an alternative to the use of a mechanical backing pump in the application of wide range turbomolecular pumps in ultra-high and extra high vacuum applications, palladium oxide is used to convert hydrogen present in the evacuation stream and related volumes to water with the water then being cryo-p
1. A method for obtaining a very low partial pressure of hydrogen in an ultra-high or extreme high vacuum condition in a vacuum system comprising: A) a vacuum chamber connected to a vacuum pumping system comprising: i) a turbomolecular pump connected to; ii) a roughing pump connected to said t
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