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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0894337 (2001-06-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 16 인용 특허 : 12 |
A process for forming fusible links in an integrated circuit includes forming the fusible link in the last metallization layer. The process can be employed in the fabrication of integrated circuits employing copper metallization and low k dielectric materials. The fusible link is formed in the last
1. A process for forming a fusible link in an integrated circuit comprising: forming a second dielectric layer on a planarized surface of an underlying metal interconnect and first dielectric layer, wherein the first and the second dielectric layers have a dielectric constant less than about 3.0,
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