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Integrated pneumatic o-ring gasket for mems devices 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F16J-015/02
출원번호 US-0852010 (2001-05-10)
발명자 / 주소
  • White, Richard P.
출원인 / 주소
  • Agilent Technologies, Inc.
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 11

초록

A gasket for sealing interfaces between a micro-machined device and a macroscopic connection to the device. The gasket can include an o-ring, a frame, a tool post and a notch. Alignment of the tool post with a dimple formed in or through a surface of a component adjacent to the gasket facilitates al

대표청구항

1. A gasket for sealing an interface to a micro-machined device comprising: a web for placement adjacent to the micro-machined device wherein the web includes an aperture; and a first tool post protruding a first distance from a first surface of the web; and a second tool post protruding a firs

이 특허에 인용된 특허 (11)

  1. Lemon Barry,CHX, Flat gasket ring.
  2. Martin David D. ; Ray Douglas W., Fluid control assembly.
  3. Boardman Thomas A. (Belmont NH), Gasket assembly.
  4. McLean Kerry L. (20540 Westhampton Southfield MI 48075), Internal combustion engine dual fuel system.
  5. Craig Stephen R. (Wilmington DE) Welsh Paul B. (Wilmington DE) Henderson Robert C. (Avondale PA), Planar manifold assembly.
  6. Craig Stephen R. (Wilmington DE) Welsh Paul B. (Wilmington DE) Henderson Robert C. (Avondale PA), Planar manifold assembly.
  7. Craig Stephen R., Planar separation column for use in sample analysis system.
  8. Katsuno Nobuhiro (Hachiojo JPX) Usami Ikuzo (Kanagawa-ken JPX) Mizutani Noriko (Hachiojo JPX), Rubber-like molded product with support frame.
  9. Nolan Terence J. ; Swensen Jeffrey E. ; Spence J. Loyd, Seal compression limiting retainer.
  10. Swensen Jeffrey E. ; Nolan Terence J. ; Spence J. Loyd ; Beales ; Jr. John L., Seal retainer plate.
  11. Wang Tak Kui ; Baker James W. ; Craig Stephen M., System for developing laminar flow.

이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. Waddell, Simon; Down, Ed; Scherzinger, William, Apparatus for preventing incorrect installation of machinery components together.
  2. Chen, Chien-Hua; Bamber, John; Kang, Henry, Micro electro-mechanical system packaging and interconnect.
  3. Casler,Arvid A., Modular gasket.
  4. Singh, Harmeet, Vacuum seal arrangement useful in plasma processing chamber.
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